- 专利标题: 一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置
- 专利标题(英): Detachable nozzle and device for manufacturing atomic layer deposited film
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申请号: CN201310636874.1申请日: 2013-12-02
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公开(公告)号: CN103628045A公开(公告)日: 2014-03-12
- 发明人: 陈蓉 , 何文杰 , 褚波 , 高玉乐 , 单斌 , 文艳伟
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 朱仁玲
- 主分类号: C23C16/455
- IPC分类号: C23C16/455
摘要:
本发明公开了一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置。用于制作原子层沉积膜的喷头,包括进气管路、进气口和出气口;所述进气口内部为空腔;所述出气口内部形成空腔,分为上半部分和下半部分,其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结构;进气管路与进气口固定连接,进气口与出气口可拆卸密闭连接。用于制作原子层沉积膜的装置,包括所述喷头、腔体支撑架、基片承载台和运动平台,腔体支撑架中间形成长条状镂空,可顺序设置多个可拆卸喷头,基片承载台设置在墙体支撑架下方,运动平台带动基片承载台。本发明能适应不同的原子层沉积反应,通过气体隔离原子层沉积法,高效快速的制作原子层沉积膜。
公开/授权文献
- CN103628045B 一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置 公开/授权日:2015-09-23
IPC分类: