发明公开
- 专利标题: 基于复合漏极的AlGaN/GaNMISHEMT高压器件及其制作方法
- 专利标题(英): Composite drain-based AlGaN/GaN MIS-HEMT (Metal-Insulator-Semiconductor High-Electron-Mobility Transistor) high-voltage device and fabrication method thereof
-
申请号: CN201410030942.4申请日: 2014-01-22
-
公开(公告)号: CN103745992A公开(公告)日: 2014-04-23
- 发明人: 冯倩 , 杜锴 , 杜鸣 , 张春福 , 梁日泉 , 郝跃
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 代理机构: 北京世誉鑫诚专利代理事务所
- 代理商 郭官厚
- 主分类号: H01L29/778
- IPC分类号: H01L29/778 ; H01L29/06 ; H01L29/417 ; H01L29/423
摘要:
本发明公开了一种基于复合漏极的AlGaN/GaN?MISHEMT高压器件及其制作方法,器件的结构从下至上依次包括:衬底、GaN缓冲层、本征GaN沟道层、AlN隔离层和AlGaN势垒层,AlGaN势垒层上设置有:源极、栅极和复合漏极,栅极与AlGaN势垒层之间设置有绝缘介质层;在栅极与复合漏极之间的AlGaN势垒层上方依次外延有线性AlGaN层、P型GaN外延层、基极。本发明的有益之处在于:器件导通时,栅漏间第一区域和第二区域的2DEG浓度增加,电阻减小;器件截止时,第一区域的2DEG减小,第二区域的2DEG与器件导通时相同,器件耗尽区的宽度增加,电场分布改变,器件击穿电压提高;复合漏极结构防止了漏极边缘出现电场峰值,提高了器件的击穿电压;绝缘栅结构避免了栅极泄漏电流,提高了器件性能。
公开/授权文献
- CN103745992B 基于复合漏极的AlGaN/GaNMISHEMT高压器件及其制作方法 公开/授权日:2016-05-25
IPC分类: