基于复合漏极的AlGaN/GaNMISHEMT高压器件及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种基于复合漏极的AlGaN/GaN?MISHEMT高压器件及其制作方法,器件的结构从下至上依次包括:衬底、GaN缓冲层、本征GaN沟道层、AlN隔离层和AlGaN势垒层,AlGaN势垒层上设置有:源极、栅极和复合漏极,栅极与AlGaN势垒层之间设置有绝缘介质层;在栅极与复合漏极之间的AlGaN势垒层上方依次外延有线性AlGaN层、P型GaN外延层、基极。本发明的有益之处在于:器件导通时,栅漏间第一区域和第二区域的2DEG浓度增加,电阻减小;器件截止时,第一区域的2DEG减小,第二区域的2DEG与器件导通时相同,器件耗尽区的宽度增加,电场分布改变,器件击穿电压提高;复合漏极结构防止了漏极边缘出现电场峰值,提高了器件的击穿电压;绝缘栅结构避免了栅极泄漏电流,提高了器件性能。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/76 ...单极器件
H01L29/772 ....场效应晶体管
H01L29/778 .....带有二维载流子气沟道的,如HEMT
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