- 专利标题: 包括交替的源极和漏极区域以及相应的源极和漏极金属带的半导体器件
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申请号: CN201310616727.8申请日: 2013-11-27
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公开(公告)号: CN103855216B公开(公告)日: 2017-04-26
- 发明人: A·W·洛特菲 , J·德姆斯基 , A·菲根森 , D·D·洛帕塔 , J·诺顿 , J·D·威尔德
- 申请人: 英力股份有限公司
- 申请人地址: 美国新泽西州
- 专利权人: 英力股份有限公司
- 当前专利权人: 阿尔特拉公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 酆迅
- 优先权: 61/732,208 20121130 US
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L23/528 ; H01L23/495 ; H01L21/336 ; H01L21/60
摘要:
本发明提供一种半导体器件及形成半导体器件的方法,在一个实施例中,半导体器件包括衬底1105和在衬底1105上被形成为交替图案的多个源极“s”区域和漏极“d”区域。半导体器件还包括多个栅极1150,在多个源极区域和漏极区域中的源极区域和漏极区域之间并且与其平行地形成于衬底1105之上。半导体器件还包括第一多个交替的源极金属带和漏极金属带1111、1121,形成于在衬底1105上方的第一金属层中,并且与多个源极区域和漏极区域中的相应源极区域和漏极区域平行并且形成电接触。
公开/授权文献
- CN103855216A 包括交替的源极和漏极区域以及相应的源极和漏极金属带的半导体器件 公开/授权日:2014-06-11
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