发明公开
- 专利标题: 钝化后互连结构及其形成方法
- 专利标题(英): Post-passivation interconnect structure and methods for forming the same
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申请号: CN201310127589.7申请日: 2013-04-12
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公开(公告)号: CN103915374A公开(公告)日: 2014-07-09
- 发明人: 杜家玮 , 郭彦良 , 谢维伦 , 蔡宗甫
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 孙征
- 优先权: 13/737,177 2013.01.09 US
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768 ; H01L23/532
摘要:
本发明公开了钝化后互连结构及其形成方法。一种方法包括:在钝化层上方形成聚合物层,其中钝化层还包括位于金属焊盘上方的一部分。图案化聚合物层以在聚合物层中形成开口,其中聚合物层的暴露表面具有第一粗糙度。实施表面处理以使聚合物层的粗糙度增加至大于第一粗糙度的第二粗糙度。在聚合物层的暴露表面上方形成金属部件。
公开/授权文献
- CN103915374B 钝化后互连结构及其形成方法 公开/授权日:2017-11-21
IPC分类: