钝化后互连结构及其形成方法
摘要:
本发明公开了钝化后互连结构及其形成方法。一种方法包括:在钝化层上方形成聚合物层,其中钝化层还包括位于金属焊盘上方的一部分。图案化聚合物层以在聚合物层中形成开口,其中聚合物层的暴露表面具有第一粗糙度。实施表面处理以使聚合物层的粗糙度增加至大于第一粗糙度的第二粗糙度。在聚合物层的暴露表面上方形成金属部件。
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