发明授权
- 专利标题: 一种LED外延片及其形成方法
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申请号: CN201210592504.8申请日: 2012-12-31
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公开(公告)号: CN103915534B公开(公告)日: 2017-08-22
- 发明人: 陈飞
- 申请人: 比亚迪股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号
- 专利权人: 比亚迪股份有限公司
- 当前专利权人: 比亚迪半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 张大威
- 主分类号: H01L33/04
- IPC分类号: H01L33/04 ; H01L33/32 ; H01L33/14 ; H01L33/00
摘要:
本发明提出一种LED外延片及其形成方法,其中形成方法包括:提供衬底,并在衬底之上形成缓冲层;在缓冲层之上形成第一掺杂类型的半导体材料层;在第一掺杂类型的半导体材料层之上形成量子阱结构;在量子阱结构之上形成电子阻挡层,其中,包括:在量子阱结构上形成第一AlxGa1‑xN层,在形成第一AlxGa1‑xN层过程中,Al的组分x从第一组分值渐变至第二组分值,且第二组分值大于第一组分值,在第一AlxGa1‑xN层上形成第二AlxGa1‑xN层,在形成第二AlxGa1‑xN层过程中,Al的组分x为定值;以及在电子阻挡层之上形成第二掺杂类型的半导体材料层。本发明能够提高LED芯片的内量子效率,促使外延片发光效率的提升,更适合大功率外延片的需求。
公开/授权文献
- CN103915534A 一种LED外延片及其形成方法 公开/授权日:2014-07-09
IPC分类: