一种LED外延片及其形成方法
摘要:
本发明提出一种LED外延片及其形成方法,其中形成方法包括:提供衬底,并在衬底之上形成缓冲层;在缓冲层之上形成第一掺杂类型的半导体材料层;在第一掺杂类型的半导体材料层之上形成量子阱结构;在量子阱结构之上形成电子阻挡层,其中,包括:在量子阱结构上形成第一AlxGa1‑xN层,在形成第一AlxGa1‑xN层过程中,Al的组分x从第一组分值渐变至第二组分值,且第二组分值大于第一组分值,在第一AlxGa1‑xN层上形成第二AlxGa1‑xN层,在形成第二AlxGa1‑xN层过程中,Al的组分x为定值;以及在电子阻挡层之上形成第二掺杂类型的半导体材料层。本发明能够提高LED芯片的内量子效率,促使外延片发光效率的提升,更适合大功率外延片的需求。
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