- 专利标题： EUV光刻部件、制备方法和掺杂二氧化钛的石英玻璃
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申请号： CN201410030505.2申请日： 2014-01-22
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公开(公告)号： CN103941539B公开(公告)日： 2020-01-17
- 发明人: 毎田繁 , 大塚久利 , 上田哲司 , 江崎正信
- 申请人： 信越化学工业株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人： 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 李英
- 优先权： 2013-008909 2013.01.22 JP
- 主分类号： G03F1/24
- IPC分类号： G03F1/24 ; C03B20/00
摘要：
本发明涉及EUV光刻部件、制备方法和掺杂二氧化钛的石英玻璃。具体地，本发明涉及一种由掺杂二氧化钛的石英玻璃制成的部件，其中在垂直于EUV反射表面的表面中条纹具有至少150毫米的曲率半径。该部件没有暴露的条纹并且具有高的平整度，在EUV光刻中是有用的。
公开/授权文献
- CN103941539A EUV光刻部件、制备方法和掺杂二氧化钛的石英玻璃 公开/授权日：2014-07-23
