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公开(公告)号：CN102765871B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210228494.X
申请日：2012-04-11
申请人： 信越化学工业株式会社
IPC分类号： C03B20/00
CPC分类号： G03F1/24 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B2201/42 , C03B2207/64 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C4/08 , C03C2201/42 , C03C2203/42 , G03F1/50
摘要： 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及制造方法。在掺杂二氧化钛的石英玻璃的EUV反射表面上，在将反射表面的中心处的原点(O)连接到双折射测量点(A)的直线与测量点(A)处的双折射快轴之间的角度(θ)具有大于45度的平均值。由于双折射的快轴是以同心的方式分布，因此得到具有高平整度的掺杂二氧化钛的石英玻璃衬底，该衬底适用于EUV光刻中。
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公开(公告)号：CN103698974A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201310585969.5
申请日：2008-06-06
申请人： 信越化学工业株式会社
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： C03B19/1423 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1453 , C03B2201/20 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , G03F7/0002
摘要： 本发明为用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在纳米压印光刻法中，在波长365nm具有最高为10%的内部透射率分布的掺杂二氧化钛的石英玻璃适合作为纳米压印模具使用。
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公开(公告)号：CN103570225A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310466661.9
申请日：2013-07-09
申请人： 信越化学工业株式会社
IPC分类号： C03B20/00
CPC分类号： C03C3/04 , B29C33/38 , C03B19/1453 , C03B20/00 , C03B32/00 , C03B2201/07 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , Y02P40/57
摘要： 通过使提供硅的原料在氢氧焰中进行火焰水解来制备二氧化硅微细颗粒，将所述二氧化硅微细颗粒沉积在旋转石英玻璃靶上的同时使它们熔融并且玻璃化，从而形成合成石英玻璃锭，成型，退火，并且在至少600℃温度和最多5Pa压力下保持至少12小时进行脱氢处理。该合成石英玻璃具备高氦气渗透性并且适合行成纳米压印模具。
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公开(公告)号：CN102180595A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010625211.6
申请日：2010-12-24
申请人： 信越化学工业株式会社
CPC分类号： G03F7/2008 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/36 , C03C3/06 , C03C2201/06 , G03F1/24
摘要： 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。更具体地涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，该玻璃在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低，所述玻璃适合作为EUV光刻部件。
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公开(公告)号：CN102060432B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201010546665.4
申请日：2010-11-16
申请人： 信越化学工业株式会社
IPC分类号： C03B20/00
CPC分类号： G03F1/22 , C03B19/1423 , C03B2201/20 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/20 , C03C2201/42 , Y02P40/57
摘要： 本发明涉及氧化钛和硫共掺杂的石英玻璃部件及其制造方法。特别地，提供了氧化钛和硫共掺杂的石英玻璃部件。由于氧化钛和硫的共掺杂，石英玻璃部件在一定温度下经历零膨胀并且在宽温度范围内经历低热膨胀，因此，石英玻璃部件适于用在可商购的EUV光刻工具中。还提供了用于EUV光刻的制备方法和光学部件。
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公开(公告)号：CN102583974B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201110372600.7
申请日：2011-09-02
申请人： 信越化学工业株式会社
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/20 , C03B2207/62 , C03B2207/64 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/42
摘要： 本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃：通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气，使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛精细颗粒，在旋转靶上沉积二氧化硅-二氧化钛精细颗粒，及同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。缩回靶以保证锭生长前沿距离燃烧器喷嘴至少250mm。
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公开(公告)号：CN102060432A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010546665.4
申请日：2010-11-16
申请人： 信越化学工业株式会社
IPC分类号： C03B20/00
CPC分类号： G03F1/22 , C03B19/1423 , C03B2201/20 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/20 , C03C2201/42 , Y02P40/57
摘要： 本发明涉及氧化钛和硫共掺杂的石英玻璃部件及其制造方法。特别地，提供了氧化钛和硫共掺杂的石英玻璃部件。由于氧化钛和硫的共掺杂，石英玻璃部件在一定温度下经历零膨胀并且在宽温度范围内经历低热膨胀，因此，石英玻璃部件适于用在可商购的EUV光刻工具中。还提供了用于EUV光刻的制备方法和光学部件。
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公开(公告)号：CN103570225B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201310466661.9
申请日：2013-07-09
申请人： 信越化学工业株式会社
IPC分类号： C03B20/00
CPC分类号： C03C3/04 , B29C33/38 , C03B19/1453 , C03B20/00 , C03B32/00 , C03B2201/07 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , Y02P40/57
摘要： 通过使提供硅的原料在氢氧焰中进行火焰水解来制备二氧化硅微细颗粒，将所述二氧化硅微细颗粒沉积在旋转石英玻璃靶上的同时使它们熔融并且玻璃化，从而形成合成石英玻璃锭，成型，退火，并且在至少600℃温度和最多5Pa压力下保持至少12小时进行脱氢处理。该合成石英玻璃具备高氦气渗透性并且适合行成纳米压印模具。
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