发明公开
CN104051307A 一种改善多晶硅炉管控片监控机制的方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种改善多晶硅炉管控片监控机制的方法
- 专利标题(英): Method for improving polycrystalline silicon furnace tube control wafer monitoring mechanism
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申请号: CN201410106570.9申请日: 2014-03-20
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公开(公告)号: CN104051307A公开(公告)日: 2014-09-17
- 发明人: 吴加奇 , 王智 , 苏俊铭 , 张旭昇
- 申请人: 上海华力微电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
- 专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
- 代理机构: 上海申新律师事务所
- 代理商 吴俊
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67
摘要:
本发明为一种改善多晶硅炉管控片监控机制的方法,涉及半导体制造技术领域,包括以下步骤:在晶舟中设置有三个非产品晶片区域;采用若干产品晶片和若干第一挡片,将晶舟中除三个非产品晶片区域以外的区域填满;在非产品晶片区域中填充有第一挡片、第二挡片和控片;将晶舟置于炉管中进行多晶硅制备工艺;对使用后的第二挡片进行清洗和重新制备;重复上述步骤;其中,第二挡片为在一光片上沉积氮化硅和氧化硅后形成;控片则仅沉积氧化硅。本发明保证了炉管工艺过程中控片和产品晶片表面的多晶硅淀积速度一致,使控片能有效准确地反映产品晶片的颗粒数和膜厚,减少了控片使用的片数和量测时间,从而减少了日程监控的成本,提高了日程监控的效率。
IPC分类: