- 专利标题: 一种提高阱容量的图像传感器像素及其制作方法
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申请号: CN201410403947.7申请日: 2014-08-15
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公开(公告)号: CN104143558B公开(公告)日: 2018-03-27
- 发明人: 郭同辉 , 旷章曲 , 陈多金 , 陈杰 , 刘志碧 , 唐冕
- 申请人: 北京思比科微电子技术股份有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区上地五街7号昊海大厦二层201室
- 专利权人: 北京思比科微电子技术股份有限公司
- 当前专利权人: 北京思比科微电子技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区上地五街7号昊海大厦二层201室
- 代理机构: 北京凯特来知识产权代理有限公司
- 代理商 郑立明; 赵镇勇
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146 ; H01L21/8238
摘要:
本发明公开了一种提高阱容量的图像传感器像素及其制作方法,包括置于半导体基体中的光电二极管以及电荷传输晶体管,光电二极管的侧面设置有晶体管电容,晶体管电容的栅极位于所述半导体基体内,晶体管电容的沟道位于光电二极管中。此晶体管电容加入到光电二极管中,有效提高了图像传感器的像素饱和阱容量,拓展了动态范围。
公开/授权文献
- CN104143558A 一种提高阱容量的图像传感器像素及其制作方法 公开/授权日:2014-11-12
IPC分类: