一种提高阱容量的图像传感器像素及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种提高阱容量的图像传感器像素及其制作方法,包括置于半导体基体中的光电二极管以及电荷传输晶体管,光电二极管的侧面设置有晶体管电容,晶体管电容的栅极位于所述半导体基体内,晶体管电容的沟道位于光电二极管中。此晶体管电容加入到光电二极管中,有效提高了图像传感器的像素饱和阱容量,拓展了动态范围。
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