包括测量光学元件的测量系统的投射曝光设备
摘要:
一种微光刻的投射曝光设备(10),包括测量投射曝光设备的光学元件的测量系统(50)。测量系统(50)包括:照射装置(54),其构造成在不同方向(64)上将测量辐射(62)辐射至光学元件(20),使得对于不同入射方向(64),测量辐射(62)覆盖光学元件(20)内的相应光路长度(68);检测装置(56),其构造成对于相应入射方向(64)测量光学元件(20)中由测量辐射(62)覆盖的对应光学路径长度;以及评估装置,其构造成考虑相应入射方向,通过所测量路径长度的计算机断层反向投射确定光学元件(20)中的折射率的空间解析分布。
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