半导体装置以及半导体装置的制造方法
摘要:
在碳化硅基板基体的表面层选择性地设置p+型区(3)、(4)以及p型区(5)。p+型区(3)设置在包围活性区(101)的耐压构造部(102)。p+型区(4)设置在活性区(101)且构成JBS构造。p型区(5)包围p+型区(3),构成结终端(JTE)构造。肖特基电极(9)与n型碳化硅外延层(2)形成肖特基结。此外,肖特基电极(9)在覆盖p+型区(3)的一部分以及p型区(5)的层问绝缘膜(6)上伸出,该伸出的部分作为场板发挥作用。由此,可以提供能够维持高耐压、且使用具有高可靠性的宽带隙半导体而构成的半导体装置及其制造方法。
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