发明公开
- 专利标题: 反向导通绝缘栅双极型晶体管
- 专利标题(英): Reverse conducting insulated gate bipolar transistor
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申请号: CN201310374500.7申请日: 2013-08-23
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公开(公告)号: CN104425578A公开(公告)日: 2015-03-18
- 发明人: 张硕 , 芮强 , 王根毅 , 邓小社
- 申请人: 无锡华润上华半导体有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
- 专利权人: 无锡华润上华半导体有限公司
- 当前专利权人: 无锡华润上华科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 邓云鹏
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L29/06
摘要:
本发明提供一种反向导通绝缘栅双极型晶体管,其包括N型衬底,形成于N型衬底正面的正面结构和形成于N型衬底背面的背面结构。背面结构包括形成于N型衬底背面的沟槽、形成于沟槽之间的背面P+区、设置于沟槽内的多晶硅以及形成于背面P+区和多晶硅上的背面金属层。该反向导通绝缘栅双极型晶体管采用多晶硅来填充反向导通绝缘栅双极型晶体管背面的沟槽。制造该反向导通绝缘栅双极型晶体管时只需要精确控制多晶硅的掺杂浓度就可以控制反向导通绝缘栅双极型晶体管背面的反向导通二极管的参数,工艺控制要求较低。该反向导通绝缘栅双极型晶体管对制造工艺控制要求较低,制造难度较小。
公开/授权文献
- CN104425578B 反向导通绝缘栅双极型晶体管 公开/授权日:2019-03-22
IPC分类: