- 专利标题: 一种非真空无掩膜的高电导率金属纳米线的加工方法
- 专利标题(英): Machining method for non-vacuum maskless high-conductivity metal nanowire
-
申请号: CN201410830123.8申请日: 2014-12-29
-
公开(公告)号: CN104625420A公开(公告)日: 2015-05-20
- 发明人: 姜澜 , 王安东 , 李晓炜 , 刘洋
- 申请人: 中自高科(苏州)光电有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区启月街1号31幢101室
- 专利权人: 中自高科(苏州)光电有限公司
- 当前专利权人: 成都鑫睿德科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区启月街1号31幢101室
- 主分类号: B23K26/36
- IPC分类号: B23K26/36 ; B23K26/064
摘要:
本发明涉及一种非真空无掩膜的高电导率金属纳米线的加工方法,属于微纳加工领域。该方法使用飞秒激光进行加工。首先对入射激光进行整形产生双光点光束,然后通过三维位移平台控制样品的位置,使得双光电光束与样品之间相对运动形成加工图案。通过控制聚焦平面与样品表面之间的距离控制线宽。该方法无需在真空条件下加工,降低对加工环境的要求,有利于成本的降低;无需掩膜,从而减少加工步骤,提高加工效率;金属纳米线由较为成熟的电子束蒸镀的方法产生,内部不存在纳米间隙,电导率较高;且金属纳米线的宽度可以大范围调节。该方法提供了一种可靠、高效、灵活的金属纳米线加工方法。
公开/授权文献
- CN104625420B 一种非真空无掩膜的高电导率金属纳米线的加工装置 公开/授权日:2016-11-30