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公开(公告)号：CN104266777B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201410151287.8
申请日：2014-04-14
申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司
IPC分类号： G01K11/32
摘要： 本发明涉及一种基于纤芯失配衰减器的全光纤温度传感器制作方法，属于光纤传感器制造技术领域。本方法采用光纤熔接机两次放电熔接错位放置的单模光纤，形成两个纤芯失配衰减器，然后再采用光纤熔接机和光纤拉锥机加工形成新的传感结构。熔接结构和光纤可以产生满足条件的光程差，实现马赫‑泽德干涉条件。当外界温度、折射率等条件变化，引起传感部分光纤有效光程差变化，从而引起透射传输谱漂移。该传感器整个结构制作简单、机械强度好、灵敏度高。采用单模光纤，降低了成本，避免了传统光纤传感器交叉敏感的影响，提高了准确度，检测结果具有很好的可重复性。
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公开(公告)号：CN104625420A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201410830123.8
申请日：2014-12-29
申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司
IPC分类号： B23K26/36 , B23K26/064
CPC分类号： B23K26/36 , B23K26/06 , B23K26/0648 , B23K26/08 , B23K26/0861
摘要： 本发明涉及一种非真空无掩膜的高电导率金属纳米线的加工方法，属于微纳加工领域。该方法使用飞秒激光进行加工。首先对入射激光进行整形产生双光点光束，然后通过三维位移平台控制样品的位置，使得双光电光束与样品之间相对运动形成加工图案。通过控制聚焦平面与样品表面之间的距离控制线宽。该方法无需在真空条件下加工，降低对加工环境的要求，有利于成本的降低；无需掩膜，从而减少加工步骤，提高加工效率；金属纳米线由较为成熟的电子束蒸镀的方法产生，内部不存在纳米间隙，电导率较高；且金属纳米线的宽度可以大范围调节。该方法提供了一种可靠、高效、灵活的金属纳米线加工方法。
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公开(公告)号：CN104266777A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410151287.8
申请日：2014-04-14
申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司
IPC分类号： G01K11/32
摘要： 本发明涉及一种基于纤芯失配衰减器的全光纤温度传感器制作方法，属于光纤传感器制造技术领域。本方法采用光纤熔接机两次放电熔接错位放置的单模光纤，形成两个纤芯失配衰减器，然后再采用光纤熔接机和光纤拉锥机加工形成新的传感结构。熔接结构和光纤可以产生满足条件的光程差，实现马赫-泽德干涉条件。当外界温度、折射率等条件变化，引起传感部分光纤有效光程差变化，从而引起透射传输谱漂移。该传感器整个结构制作简单、机械强度好、灵敏度高。采用单模光纤，降低了成本，避免了传统光纤传感器交叉敏感的影响，提高了准确度，检测结果具有很好的可重复性。
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公开(公告)号：CN104215270A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310209670.X
申请日：2013-05-31
申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司
摘要： 本发明涉及一种飞秒激光脉冲序列加工的全光纤传感器的制作方法，包括以下步骤：取光纤，用剥离钳子去单模除光纤上的一段涂覆层；采用飞秒激光脉冲序列三维微加工；在光纤上烧蚀出一U型微通道，采用飞秒激光脉冲序列烧蚀掉部分光纤的包层与芯层后，得到的空气腔的微通道；在微通道打通后，将光纤浸泡在5％的HF酸中，在超声波的辅助下后处理45分钟，使得微通道内壁粗糙度降低，从而可获得一个衰减峰较低的透射谱线。本发明的有益效果为：采用飞秒激光脉冲序列加工实现一种单步成型且结构简单的高灵敏度新型微传感器，该传感器整个器件不存在组装或移动部件，具有单步成型、结构简单、机械强度好、灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN104209649A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310209634.3
申请日：2013-05-31
申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司
CPC分类号： B23K26/00
摘要： 本发明涉及一种基于掺杂的激光共振吸收高效率及选择性加工方法，所述方法包括：选取实验用材料，配制含有不同浓度掺杂杂质的材料；材料经局部掺杂后，对特定波长激光产生共振吸收；材料吸收光谱的测量；波长调节系统调整激光波长至此吸收峰值处，共振吸收峰应与激光波长对应；比较不同材料不同掺杂浓度下，共振加工与非共振加工之间加工速率的差异；利用表征方法，优化掺杂条件。本发明的有益效果为：本发明通过在宽禁带材料中进行掺杂特定杂质，产生对光子的共振吸收效果，与传统的激光加工方法相比，能够实现对材料的高效率及选择性加工。
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公开(公告)号：CN104625420B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201410830123.8
申请日：2014-12-29
申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司
IPC分类号： B23K26/36 , B23K26/064
摘要： 本发明涉及一种非真空无掩膜的高电导率金属纳米线的加工装置，属于微纳加工领域。该装置使用飞秒激光进行加工。首先对入射激光进行整形产生双光点光束，然后通过三维位移平台控制样品的位置，使得双光电光束与样品之间相对运动形成加工图案。通过控制聚焦平面与样品表面之间的距离控制线宽。该装置无需在真空条件下加工，降低对加工环境的要求，有利于成本的降低；无需掩膜，从而减少加工步骤，提高加工效率；金属纳米线由较为成熟的电子束蒸镀的方法产生，内部不存在纳米间隙，电导率较高；且金属纳米线的宽度可以大范围调节。该装置提供了一种可靠、高效、灵活的金属纳米线加工装置。
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公开(公告)号：CN104209652A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310209667.8
申请日：2013-05-31
申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司
IPC分类号： B23K26/36
CPC分类号： B23K26/36
摘要： 本发明涉及一种控制飞秒激光诱导晶硅表面微纳结构形态的方法，该方法在单点飞秒激光诱导晶硅表面周期性微纳结构几何形态控制的基础上，通过对飞秒激光线偏振方向与激光直写方向进行控制，实现了对直写线宽的调控，当激光直写方向与线偏振方向平行时得到最小线宽表面周期性微纳结构，当激光直写方向与线偏振方向垂直时得到最大线宽表面周期性微纳结构。本发明的有益效果为：本发明通过简单的基于激光偏振态的调节及飞秒激光脉冲序列的应用，能够精确控制飞秒激光诱导晶硅表面周期结构的几何形态，从而为飞秒激光直写诱导大面积周期结构的产生提供了精确的可控参数，适用于飞秒激光直写精确诱导大面积表面周期结构的制造。
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公开(公告)号：CN104209652B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201310209667.8
申请日：2013-05-31
申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司
IPC分类号： B23K26/351 , B23K26/064
摘要： 本发明涉及一种控制飞秒激光诱导晶硅表面微纳结构形态的方法，该方法在单点飞秒激光诱导晶硅表面周期性微纳结构几何形态控制的基础上，通过对飞秒激光线偏振方向与激光直写方向进行控制，实现了对直写线宽的调控，当激光直写方向与线偏振方向平行时得到最小线宽表面周期性微纳结构，当激光直写方向与线偏振方向垂直时得到最大线宽表面周期性微纳结构。本发明的有益效果为：本发明通过简单的基于激光偏振态的调节及飞秒激光脉冲序列的应用，能够精确控制飞秒激光诱导晶硅表面周期结构的几何形态，从而为飞秒激光直写诱导大面积周期结构的产生提供了精确的可控参数，适用于飞秒激光直写精确诱导大面积表面周期结构的制造。
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公开(公告)号：CN104625438A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201410830142.0
申请日：2014-12-29
申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司
IPC分类号： B23K26/53 , B23K26/0622 , B23K26/70
CPC分类号： B23K26/53
摘要： 本发明涉及一种利用飞秒激光偏振选择性烧蚀结合化学酸蚀高效率制备微通道的方法，属于飞秒激光应用技术领域，本发明中针对晶态材料特性，通过调节激光偏振参数与材料晶轴夹角，进而调控激光与材料相互作用过程中的局部瞬时电子动态，诱导激光加工区域材料改性，之后辅助化学酸蚀，从而提高微通道的加工效率和加工精度，本方法简单高效，在微流体加工领域有重要研究意义。
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公开(公告)号：CN104218441A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310209631.X
申请日：2013-05-31
申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司
IPC分类号： H01S3/10 , B23K26/064
摘要： 本发明涉及一种超快激光脉冲序列调制方法，通过级联分光合光的方式将一个超快激光单脉冲调制成由两个或多个间隔为飞秒到皮秒量级的子脉冲构成的脉冲序列，并且可以精确控制子脉冲个数、子脉冲之间延时和每个子脉冲能量。本发明的有益效果为：结构原理简单，占用光学元件少，占用空间小，各子脉冲相互独立，对其能量和延时的调节互不影响，且可以在入射激光和出射激光之间随意增减分光级数来增减出射激光脉冲序列中子脉冲的个数，而不影响原有脉冲序列中各子脉冲的延时分布。
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