公开(公告)号：CN104625420A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201410830123.8

申请日：2014-12-29

申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司

发明人： 姜澜 ,  王安东 ,  李晓炜 ,  刘洋

IPC分类号： B23K26/36 ,  B23K26/064

CPC分类号： B23K26/36 ,  B23K26/06 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/08 ,  B23K26/0861

摘要： 本发明涉及一种非真空无掩膜的高电导率金属纳米线的加工方法，属于微纳加工领域。该方法使用飞秒激光进行加工。首先对入射激光进行整形产生双光点光束，然后通过三维位移平台控制样品的位置，使得双光电光束与样品之间相对运动形成加工图案。通过控制聚焦平面与样品表面之间的距离控制线宽。该方法无需在真空条件下加工，降低对加工环境的要求，有利于成本的降低；无需掩膜，从而减少加工步骤，提高加工效率；金属纳米线由较为成熟的电子束蒸镀的方法产生，内部不存在纳米间隙，电导率较高；且金属纳米线的宽度可以大范围调节。该方法提供了一种可靠、高效、灵活的金属纳米线加工方法。

公开(公告)号：CN104625420B

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201410830123.8

申请日：2014-12-29

申请人： 中自高科(苏州)光电有限公司

发明人： 姜澜 ,  王安东 ,  李晓炜 ,  刘洋

IPC分类号： B23K26/36 ,  B23K26/064

摘要： 本发明涉及一种非真空无掩膜的高电导率金属纳米线的加工装置，属于微纳加工领域。该装置使用飞秒激光进行加工。首先对入射激光进行整形产生双光点光束，然后通过三维位移平台控制样品的位置，使得双光电光束与样品之间相对运动形成加工图案。通过控制聚焦平面与样品表面之间的距离控制线宽。该装置无需在真空条件下加工，降低对加工环境的要求，有利于成本的降低；无需掩膜，从而减少加工步骤，提高加工效率；金属纳米线由较为成熟的电子束蒸镀的方法产生，内部不存在纳米间隙，电导率较高；且金属纳米线的宽度可以大范围调节。该装置提供了一种可靠、高效、灵活的金属纳米线加工装置。