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CN104641297B 平台系统以及包括该平台系统的光刻设备 有权

平台系统以及包括该平台系统的光刻设备
摘要：
一种平台系统，包括：可移动平台；以及用于测量平台的位置的编码器，其中编码器包括用于发射编码器束的发射器、用于与编码器束相互作用的光栅、以及用于检测已经与光栅相互作用的编码器束的检测器，编码器束在使用中沿着光路径传播；净化帽体，至少部分地包围光学路径；以及净化介质供应装置，用于将净化介质供应到净化帽体中。
摘要（英）：

A stage system includes a movable stage, and an encoder for measuring a position of the stage, wherein the encoder includes an emitter for emitting an encoder beam, a grating for interacting with the encoder beam, and a detector for detecting the encoder beam having interacted with the grating, the encoder beam in use propagating along an optical path; a purging cap at least partly enclosing the optical path; and a purging medium supply device for supplying a purging medium into the purging cap.

公开/授权文献
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