发明授权
CN104684677B 用于工件分离的方法及装置及借此制造的物品
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于工件分离的方法及装置及借此制造的物品
-
申请号: CN201380047456.7申请日: 2013-09-23
-
公开(公告)号: CN104684677B公开(公告)日: 2018-11-16
- 发明人: 张海滨 , 单芳 , 马修·雷克 , 张敏 , 格兰·西门森 , 徐倩 , 詹姆斯·布鲁克伊塞 , 乔瑟夫·法兰克尔 , 麦克·达尔文 , 杰克·罗戴尔 , 马修·赛谢尔
- 申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
- 申请人地址: 美国俄勒冈州
- 专利权人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
- 当前专利权人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国俄勒冈州
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 许静; 黄灿
- 优先权: 61/704,038 2012.09.21 US
- 国际申请: PCT/US2013/061162 2013.09.23
- 国际公布: WO2014/047549 EN 2014.03.27
- 进入国家日期: 2015-03-12
- 主分类号: B23K26/38
- IPC分类号: B23K26/38 ; B23K26/04 ; B23K26/08
摘要:
本发明涉及一种用于自一共同基板分离一工件的方法。该方法包括以下步骤:提供该工件;在一射束源中产生一激光脉冲束,该激光脉冲束组配来修改该工件的一部分;基于该工件的一特征测定用于建立一修改区的一深度;以及修改该工件内的多个区以形成多个修改区。修改多个区包括:将来自该射束源的一输出的该激光脉冲束导向至该工件上;引起该工件与该射束源的该输出之间的相对运动,同时将该激光脉冲束导向至工件上;以及在产生大量脉冲之后修改该射束的该脉冲的一特征,其通常相应于建立该修改区至经测定的该深度。
公开/授权文献
- CN104684677A 用于工件分离的方法及装置及借此制造的物品 公开/授权日:2015-06-03