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公开(公告)号：CN104684677A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201380047456.7
申请日：2013-09-23
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC分类号： B23K26/364 , B23K26/0006 , B23K26/57 , B23K2103/50
摘要： 本发明涉及一种用于自一共同基板分离一工件的方法。该方法包括以下步骤：提供该工件；在一射束源中产生一激光脉冲束，该激光脉冲束组配来修改该工件的一部分；基于该工件的一特征测定用于建立一修改区的一深度；以及修改该工件内的多个区以形成多个修改区。修改多个区包括：将来自该射束源的一输出的该激光脉冲束导向至该工件上；引起该工件与该射束源的该输出之间的相对运动，同时将该激光脉冲束导向至工件上；以及在产生大量脉冲之后修改该射束的该脉冲的一特征，其通常相应于建立该修改区至经测定的该深度。
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公开(公告)号：CN116615299A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202180078290.X
申请日：2021-11-23
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： B23K26/03
摘要： 本发明提供一种激光加工设备，该激光加工设备可实施一制程以借由引导激光能量至具有一第一材料的一工件上使得该激光能量入射于该第一材料上而在该工件中形成一贯孔，该第一材料形成于一第二材料上，其中该激光能量具有一波长，该第一材料比该第二材料对该波长反射更多。该设备可包括：一背向反射感测系统，其可操作以捕捉对应于经引导至该工件并由该第一材料反射的激光能量的一部分的一背向反射信号且基于该捕捉的背向反射信号产生一感测器信号；及一控制器，其以通信方式耦接至该背向反射感测系统的一输出端，其中该控制器可操作以基于该感测器信号控制形成该贯孔的该制程的一剩余部分。
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公开(公告)号：CN116213918A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211600049.1
申请日：2016-09-08
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人： 马克·昂瑞斯 , 杨川 , 言恩·克雷能特 , 马克·匹柏斯 , 休·欧文斯 , 格温多林·拜恩 , 张海滨 , 贾斯汀·雷德 , 柯瑞·纽菲尔德 , 詹姆斯·布鲁克伊塞 , 大迫·康 , 玛密特·艾尔帕 , 林智斌 , 派崔克·莱歇尔 , 提姆·纽寇斯 , 松本久 , 克里斯·莱德
摘要： 本发明改良用于镭射处理工件的设备与技术，并且提供新功能。本发明讨论的某些实施例与以会提高精确性、总处理量、…等的方式来处理工件有关。其它实施例则关于即时Z高度量测，并且在合宜时，进行特定Z高度偏差补偿。本发明的再其它实施例则关于扫描图样、射束特征、…等的调变，以便帮助进行特征元件成形、避免非所希望的热能累积、或是提高处理总处理量。本发明亦详细说明大量的其它实施例和配置。
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公开(公告)号：CN111133361B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201880055941.1
申请日：2018-09-20
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明关于一种光束定位器，其大体经特性化为包括第一声光(AO)偏转器(AOD)，该第一声光(AO)偏转器(AOD)可操作用以使线性偏振镭射光的入射光束绕射，其中该第一AOD具有第一绕射轴且其中该第一AOD定向使得该第一绕射轴与该线性偏振镭射光的偏振平面具有预定空间关系。该光束定位器可包括配置于光束路径内的至少一个相移反射器，光可沿着该光束路径自该第一AOD传播。该至少一个相移反射器可被配置及定向以旋转由该第一AOD绕射的光的偏振平面。
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公开(公告)号：CN118610876A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410714003.5
申请日：2020-02-04
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
摘要： 一种系统，所述系统包括：多通道射束分光器，其被排列及配置以将输入光学信号分裂成多个分裂光学信号；多个相位调变器，其中所述多个相位调变器中的每一相位调变器可操作以响应于控制信号而修改所述多个分裂光学信号中的对应分裂光学信号的相位；波导，其排列在所述多个相位调变器的光学输出端，所述波导被配置以将自所述多个相位调变器输出的所述分裂光学信号在空间上重新排列成一图案，借此产生光学信号图案；及光学放大器，其排列在所述波导的光学输出端，其中所述光学放大器被配置以放大由所述波导产生的所述光学信号图案。
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公开(公告)号：CN110799899B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN201880037016.6
申请日：2018-06-19
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： G02F1/33
摘要： 一种光束定位器，其包括：第一声光(AO)偏转器(AOD)，该第一AOD包含AO单元及附接至该AO单元的转换器；及光学地接触至该第一AOD的波片。
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公开(公告)号：CN116547592A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180072969.8
申请日：2021-11-11
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： G02F1/11
摘要： 一种设备包含一声光偏转器(AOD)系统，其是操作以在二维的扫描场内偏转一激光能量射束。所述AOD系统包含一第一AOD，其操作以沿着所述二维的扫描场的第一轴来偏转所述激光能量的射束；一第二AOD，其光学地配置在所述第一AOD的下游，其中所述第二AOD操作以沿着所述二维的扫描场的第二轴来偏转所述激光能量的射束；以及一控制器，其操作地耦接至所述AOD系统。所述控制器被配置以驱动所述第一AOD以及所述第二AOD的每一个以在所述二维的扫描场内偏转所述激光能量的射束，并且进一步被配置以在至少实质相同的绕射效率下驱动所述第一AOD以及所述第二AOD。
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公开(公告)号：CN116275467A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310211386.X
申请日：2019-06-04
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人： 派崔克·莱歇尔 , 马克·昂瑞斯 , 杰克·罗伯兹 , 乔瑟夫·哈斯提 , 詹姆斯·布鲁克伊塞 , 扎克里·唐 , 克里斯多福·汉默 , 杰佛利·洛特 , 雅各·梅格斯 , 杰克·罗戴尔 , 杰弗瑞·豪尔顿 , 杰恩·克雷能特 , 道格·豪尔 , 盖瑞·拉森 , 朱莉·威尔森 , 李·彼得森 , 马克·韦格纳 , 克尔特·伊藤
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/064 , B23K26/70 , B23K26/0622 , G05B19/401
摘要： 改良用于激光加工工件的设备与技术，并且提供新功能。本发明讨论的某些实施例和使用射束特征化工具达成适应性加工、加工控制、以及其它所希望的特点有关。其它实施例则关于并入积分球的激光功率传感器。本发明的再其它实施例关于能够同步提供不同工件给共同激光加工设备的工件搬运系统。本发明亦详细说明众多其它实施例和配置。
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公开(公告)号：CN108025396B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201680048544.2
申请日：2016-09-08
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人： 马克·昂瑞斯 , 杨川 , 言恩·克雷能特 , 马克·匹柏斯 , 休·欧文斯 , 格温多林·拜恩 , 张海滨 , 贾斯汀·雷德 , 柯瑞·纽菲尔德 , 詹姆斯·布鲁克伊塞 , 大迫·康 , 玛密特·艾尔帕 , 林智斌 , 派崔克·莱歇尔 , 提姆·纽寇斯 , 松本久 , 克里斯·莱德
摘要： 本发明改良用于镭射处理工件的设备与技术，并且提供新功能。本发明讨论的某些实施例与以会提高精确性、总处理量、…等的方式来处理工件有关。其它实施例则关于即时Z高度量测，并且在合宜时，进行特定Z高度偏差补偿。本发明的再其它实施例则关于扫描图样、射束特征、…等的调变，以便帮助进行特征元件成形、避免非所希望的热能累积、或是提高处理总处理量。本发明亦详细说明大量的其它实施例和配置。
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公开(公告)号：CN118591767A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202280089897.2
申请日：2022-12-05
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
摘要： 本发明揭示可操作以使激光传播所沿光束路径沿着多个轴偏转的多轴光束定位器的诸多实例。该光束定位器包括彼此以光学方式串联排列的第一AOD及第二AOD。该第一AOD及该第二AOD经排列且配置以使该光束路径沿着该多轴光束定位器的不同轴偏转。在一个实例中，该第一AOD的该AO单元由与该第二AOD的该AO单元相同的材料形成但该第一AOD与该第二AOD不同地配置。在另一实例中，该第一AOD及该第二AOD为纵向模式AOD，且在该第一AOD与该第二AOD之间不存在延迟器。在另一实例中，提供热交换器以相对于该第一AOD的该AO单元冷却该第二AOD的该AO单元。
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