公开(公告)号：CN104684677A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201380047456.7

申请日：2013-09-23

申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司

发明人： 张海滨 ,  单芳 ,  马修·雷克 ,  张敏 ,  格兰·西门森 ,  徐倩 ,  詹姆斯·布鲁克伊塞 ,  乔瑟夫·法兰克尔 ,  麦克·达尔文 ,  杰克·罗戴尔 ,  马修·赛谢尔

IPC分类号： B23K26/38 ,  B23K26/04 ,  B23K26/08

CPC分类号： B23K26/364 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/57 ,  B23K2103/50

摘要： 本发明涉及一种用于自一共同基板分离一工件的方法。该方法包括以下步骤：提供该工件；在一射束源中产生一激光脉冲束，该激光脉冲束组配来修改该工件的一部分；基于该工件的一特征测定用于建立一修改区的一深度；以及修改该工件内的多个区以形成多个修改区。修改多个区包括：将来自该射束源的一输出的该激光脉冲束导向至该工件上；引起该工件与该射束源的该输出之间的相对运动，同时将该激光脉冲束导向至工件上；以及在产生大量脉冲之后修改该射束的该脉冲的一特征，其通常相应于建立该修改区至经测定的该深度。

公开(公告)号：CN104684677B

公开(公告)日：2018-11-16

申请号：CN201380047456.7

申请日：2013-09-23

申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司

发明人： 张海滨 ,  单芳 ,  马修·雷克 ,  张敏 ,  格兰·西门森 ,  徐倩 ,  詹姆斯·布鲁克伊塞 ,  乔瑟夫·法兰克尔 ,  麦克·达尔文 ,  杰克·罗戴尔 ,  马修·赛谢尔

IPC分类号： B23K26/38 ,  B23K26/04 ,  B23K26/08

CPC分类号： B23K26/364 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/57 ,  B23K2103/50

摘要： 本发明涉及一种用于自一共同基板分离一工件的方法。该方法包括以下步骤：提供该工件；在一射束源中产生一激光脉冲束，该激光脉冲束组配来修改该工件的一部分；基于该工件的一特征测定用于建立一修改区的一深度；以及修改该工件内的多个区以形成多个修改区。修改多个区包括：将来自该射束源的一输出的该激光脉冲束导向至该工件上；引起该工件与该射束源的该输出之间的相对运动，同时将该激光脉冲束导向至工件上；以及在产生大量脉冲之后修改该射束的该脉冲的一特征，其通常相应于建立该修改区至经测定的该深度。