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公开(公告)号：CN110039329A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910052560.4
申请日：2016-06-21
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： B23Q1/30
摘要： 一种多轴工具机，包括有镭射源、工件定位总成、工具尖定位总成和控制器。该镭射源被配置为产生包括光束腰的聚焦的激光束；该工件定位总成被配置为将工件定位在可传播聚焦的该激光束的路径中，其中该工件定位总成进一步操作以使该工件绕至少一轴旋转并且使该工件沿至少一轴平移；该工具尖定位总成的操作以使由该镭射源产生的该激光束的该光束腰沿至少一轴移动，其中该工具尖定位总成包括由以下所组成的群组所选出的至少一者：声光偏转器系统、微机电系统镜系统和自适应光学系统；该控制器在操作上耦合至该镭射源、该工件定位总成和该工具尖定位总成，并且被配置至该镭射源、该工件定位总成和该工具尖定位总成的操作。
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公开(公告)号：CN104136967B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201380009631.3
申请日：2013-02-27
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC分类号： C03B33/0222 , B23K26/40 , B23K2103/50 , Y10T428/24479 , Y10T428/24488
摘要： 本发明揭示用于分离基板的方法及装置，以及由经分离的基板形成的物品。分离具有第一表面及第二表面的基板的方法包括定向激光束以穿过该第一表面且之后穿过该第二表面。该激光束具有位于该基板表面或该基板外部的束腰。引起该激光束与该基板之间的相对运动以便扫描该基板的表面上欲沿引导路径加以扫描的光斑。该基板经该光斑内所照射的部分吸收该激光束内的光，以便该基板可沿该引导路径分离。
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公开(公告)号：CN104136967A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380009631.3
申请日：2013-02-27
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC分类号： C03B33/0222 , B23K26/40 , B23K2103/50 , Y10T428/24479 , Y10T428/24488
摘要： 本发明揭示用于分离基板的方法及装置，以及由经分离的基板形成的物品。分离具有第一表面及第二表面的基板的方法包括定向激光束以穿过该第一表面且之后穿过该第二表面。该激光束具有位于该基板表面或该基板外部的束腰。引起该激光束与该基板之间的相对运动以便扫描该基板的表面上欲沿引导路径加以扫描的光斑。该基板经该光斑内所照射的部分吸收该激光束内的光，以便该基板可沿该引导路径分离。
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公开(公告)号：CN104684677A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201380047456.7
申请日：2013-09-23
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC分类号： B23K26/364 , B23K26/0006 , B23K26/57 , B23K2103/50
摘要： 本发明涉及一种用于自一共同基板分离一工件的方法。该方法包括以下步骤：提供该工件；在一射束源中产生一激光脉冲束，该激光脉冲束组配来修改该工件的一部分；基于该工件的一特征测定用于建立一修改区的一深度；以及修改该工件内的多个区以形成多个修改区。修改多个区包括：将来自该射束源的一输出的该激光脉冲束导向至该工件上；引起该工件与该射束源的该输出之间的相对运动，同时将该激光脉冲束导向至工件上；以及在产生大量脉冲之后修改该射束的该脉冲的一特征，其通常相应于建立该修改区至经测定的该深度。
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公开(公告)号：CN110039329B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN201910052560.4
申请日：2016-06-21
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： B23Q1/30
摘要： 一种多轴工具机，包括有镭射源、工件定位总成、工具尖定位总成和控制器。该镭射源被配置为产生包括光束腰的聚焦的激光束；该工件定位总成被配置为将工件定位在可传播聚焦的该激光束的路径中，其中该工件定位总成进一步操作以使该工件绕至少一轴旋转并且使该工件沿至少一轴平移；该工具尖定位总成的操作以使由该镭射源产生的该激光束的该光束腰沿至少一轴移动，其中该工具尖定位总成包括由以下所组成的群组所选出的至少一者：声光偏转器系统、微机电系统镜系统和自适应光学系统；该控制器在操作上耦合至该镭射源、该工件定位总成和该工具尖定位总成，并且被配置至该镭射源、该工件定位总成和该工具尖定位总成的操作。
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公开(公告)号：CN104684677B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201380047456.7
申请日：2013-09-23
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC分类号： B23K26/364 , B23K26/0006 , B23K26/57 , B23K2103/50
摘要： 本发明涉及一种用于自一共同基板分离一工件的方法。该方法包括以下步骤：提供该工件；在一射束源中产生一激光脉冲束，该激光脉冲束组配来修改该工件的一部分；基于该工件的一特征测定用于建立一修改区的一深度；以及修改该工件内的多个区以形成多个修改区。修改多个区包括：将来自该射束源的一输出的该激光脉冲束导向至该工件上；引起该工件与该射束源的该输出之间的相对运动，同时将该激光脉冲束导向至工件上；以及在产生大量脉冲之后修改该射束的该脉冲的一特征，其通常相应于建立该修改区至经测定的该深度。
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公开(公告)号：CN106794564B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201680002861.0
申请日：2016-06-21
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： B23Q1/30
摘要： 本发明的一个实施例可表征为用于控制多轴工具机的方法，该方法包括：获得初步旋转致动器命令(其中该旋转致动器命令具有超出旋转致动器的带宽的频率内容)；至少部分地基于该初步旋转致动器命令来产生经处理的旋转致动器命令，该经处理的旋转致动器命令具有在该旋转致动器的带宽内的频率内容；以及至少部分地基于该经处理的旋转致动器命令来产生第一线性致动器命令及第二线性致动器命令。可将该经处理的旋转致动器命令输出至该旋转致动器，可将该第一线性致动器命令输出至第一线性致动器，且可将该第二线性致动器命令输出至第二线性致动器。
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公开(公告)号：CN106794564A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201680002861.0
申请日：2016-06-21
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： B23Q1/30
CPC分类号： B23Q15/14 , G05B19/19 , G05B19/402 , G05B2219/34015 , G05B2219/41196 , G05B2219/41217 , G05B2219/41427 , G05B2219/50218 , B23Q1/30
摘要： 本发明的一个实施例可表征为用于控制多轴工具机的方法，该方法包括：获得初步旋转致动器命令(其中该旋转致动器命令具有超出旋转致动器的带宽的频率内容)；至少部分地基于该初步旋转致动器命令来产生经处理的旋转致动器命令，该经处理的旋转致动器命令具有在该旋转致动器的带宽内的频率内容；以及至少部分地基于该经处理的旋转致动器命令来产生第一线性致动器命令及第二线性致动器命令。可将该经处理的旋转致动器命令输出至该旋转致动器，可将该第一线性致动器命令输出至第一线性致动器，且可将该第二线性致动器命令输出至第二线性致动器。
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