发明授权
- 专利标题： 一种外延片拉曼散射光谱数据生成方法
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申请号： CN201310648303.X申请日： 2013-12-04
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公开(公告)号： CN104697973B公开(公告)日： 2017-11-21
- 发明人: 严冬 , 马铁中 , 王林梓 , 刘健鹏
- 申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
- 申请人地址： 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室
- 专利权人： 北京智朗芯光科技有限公司
- 当前专利权人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室
- 代理机构： 北京华沛德权律师事务所
- 代理商 刘杰
- 主分类号： G01N21/65
- IPC分类号： G01N21/65
摘要：
本发明公开了一种外延片拉曼散射光谱数据生成方法，属于半导体材料制造设备技术领域。该方法在石墨盘旋转的情况下，通过控制采集数据的时间间隔及每个数据采集周期对应的起始外延片，可以使采集的数据遍历布设在石墨盘外周上的所有外延片，即得到布设在石墨盘外周上的所有外延片拉曼散射光谱数据，从而，本发明提供的外延片拉曼散射光谱数据生成方法能够连续、自动生成布设在石墨盘外周上的外延片拉曼散射光谱数据。
公开/授权文献
- CN104697973A 一种外延片拉曼散射光谱数据生成方法 公开/授权日：2015-06-10