一种高可靠玻璃钝化高压硅堆的制造方法
摘要:
本发明公开了一种高可靠玻璃钝化高压硅堆的制造方法,包括以下步骤:a、将若干个管芯采用台面成型机吹砂成型规定尺寸的圆片,b、将所述管芯分极处理后,采用石墨模具叠片烧结的方式将所述管芯进行烧结形成芯片,c、将含有钨电极的电极引线焊接在所述芯片的两端,d、采用混合酸对所述芯片的台面进行腐蚀,腐蚀两次,每次3分钟,然后用大量去离子水冲洗干净,e、在所述芯片的台面上涂覆钝化封装玻璃粉浆,在链式炉下高温成型,完成封装成型。本发明采用钨电极引线制造高压硅堆,提高了产品的抗浪涌电流能力,同时采用钨电极引线制造的高压硅堆可靠性明显提高。
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