一种高可靠玻璃钝化高压硅堆的制造方法

    公开(公告)号:CN104795335A

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201510193603.2

    申请日:2015-04-22

    IPC分类号: H01L21/50

    CPC分类号: H01L21/50 H01L21/56

    摘要: 本发明公开了一种高可靠玻璃钝化高压硅堆的制造方法,包括以下步骤:a、将若干个管芯采用台面成型机吹砂成型规定尺寸的圆片,b、将所述管芯分极处理后,采用石墨模具叠片烧结的方式将所述管芯进行烧结形成芯片,c、将含有钨电极的电极引线焊接在所述芯片的两端,d、采用混合酸对所述芯片的台面进行腐蚀,腐蚀两次,每次3分钟,然后用大量去离子水冲洗干净,e、在所述芯片的台面上涂覆钝化封装玻璃粉浆,在链式炉下高温成型,完成封装成型。本发明采用钨电极引线制造高压硅堆,提高了产品的抗浪涌电流能力,同时采用钨电极引线制造的高压硅堆可靠性明显提高。

    一种高可靠玻璃钝化高压硅堆的制造方法

    公开(公告)号:CN104795335B

    公开(公告)日:2017-06-27

    申请号:CN201510193603.2

    申请日:2015-04-22

    IPC分类号: H01L21/50

    摘要: 本发明公开了一种高可靠玻璃钝化高压硅堆的制造方法,包括以下步骤:a、将若干个管芯采用台面成型机吹砂成型规定尺寸的圆片,b、将所述管芯分极处理后,采用石墨模具叠片烧结的方式将所述管芯进行烧结形成芯片,c、将含有钨电极的电极引线焊接在所述芯片的两端,d、采用混合酸对所述芯片的台面进行腐蚀,腐蚀两次,每次3分钟,然后用大量去离子水冲洗干净,e、在所述芯片的台面上涂覆钝化封装玻璃粉浆,在链式炉下高温成型,完成封装成型。本发明采用钨电极引线制造高压硅堆,提高了产品的抗浪涌电流能力,同时采用钨电极引线制造的高压硅堆可靠性明显提高。

    一种高可靠玻璃钝化高压硅堆

    公开(公告)号:CN204538012U

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201520247306.7

    申请日:2015-04-22

    摘要: 本实用新型公开了一种高可靠玻璃钝化高压硅堆,包括芯片和两个电极引线,两个所述电极引线对称的固定在所述芯片的两端,其中,所述芯片由多个管芯叠片烧结而成,所述电极引线包括引线和钨电极,所述引线和钨电极通过银铜焊片相互焊接连接,以及所述芯片的外表面还设有一玻璃层,所述玻璃层采用钝化玻璃粉制作而成。本实用新型带有钨电极的电极引线由于其化学性能稳定,在芯片台面腐蚀成型过程中基本不与混合酸反应,使芯片腐蚀过程可控,减少金属杂质离子的对台面的沾污,大大降低了产品的常温、高温反向漏电流,同时采用与钨电极匹配的钝化玻璃粉涂粉成玻璃层,提高了产品的抗温度循环能力。