- 专利标题: 含有多环芳香族乙烯基化合物的自组装膜的下层膜形成用组合物
- 专利标题(英): BOTTOM LAYER FILM-FORMATION COMPOSITION OF SELF-ORGANIZING FILM CONTAINING POLYCYCLIC ORGANIC VINYL COMPOUND
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申请号: CN201380066230.1申请日: 2013-12-13
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公开(公告)号: CN104854205A公开(公告)日: 2015-08-19
- 发明人: 染谷安信 , 若山浩之 , 远藤贵文 , 坂本力丸
- 申请人: 日产化学工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 日产化学工业株式会社
- 当前专利权人: 日产化学工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 段承恩; 李照明
- 优先权: 2012-276135 2012.12.18 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/083492 2013.12.13
- 国际公布: WO2014/097993 JA 2014.06.26
- 进入国家日期: 2015-06-17
- 主分类号: C09D201/00
- IPC分类号: C09D201/00 ; B05D1/38 ; B05D3/10 ; B05D7/24 ; C09D5/00 ; C09D125/00 ; C09D139/04 ; C09D145/00 ; G03F7/11 ; G03F7/26 ; H01L21/027
摘要:
本发明的课题是提供一种不会与上层的自组装膜发生互混(层混合)而在自组装膜上形成垂直图案的自组装膜的下层膜。解决手段是一种自组装膜的下层膜形成用组合物,其特征在于,含有在聚合物的全部结构单元中具有0.2摩尔%以上的多环芳香族乙烯基化合物结构单元的聚合物。所述聚合物为聚合物在全部结构单元中具有20摩尔%以上的芳香族乙烯基化合物的结构单元,且芳香族乙烯基化合物在全部结构单元中具有1摩尔%以上的多环芳香族乙烯基化合物的结构单元的聚合物。所述芳香族乙烯基化合物包含可分别被取代的乙烯基萘、苊或乙烯基咔唑,所述多环芳香族乙烯基化合物为乙烯基萘、苊或乙烯基咔唑。另外,所述芳香族乙烯基化合物包含可被取代的苯乙烯、和可分别被取代的乙烯基萘、苊或乙烯基咔唑,多环芳香族乙烯基化合物为乙烯基萘、苊或乙烯基咔唑。
公开/授权文献
- CN104854205B 含有多环芳香族乙烯基化合物的自组装膜的下层膜形成用组合物 公开/授权日:2018-12-28
IPC分类: