大口径光学元件动态洁净保持和转运装置
摘要:
本发明公开了一种大口径光学元件动态洁净保持和转运装置,包括呈长方体结构的洁净转运箱,其前端敞口,后端设有进风口;可拆卸地设置在所述洁净转运箱的前端敞口位置,并能够遮盖住该敞口的前挡板;可拆卸地安装在所述进风口位置,并能够遮盖住该进风口的后挡板;对称地设置在洁净转运箱顶壁和底面上的滑道,该滑道具有至少一条滑槽,所述滑槽中部的宽度大于其两端的宽度。本发明能够满足大口径光学元件在线安装维护和运行过程中的洁净要求,大口径光学元件在进入滑道后,能够实现一定的柔性调整,转运方便可靠,具有结构简单,操作方便等优点。
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