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公开(公告)号：CN107356608A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710600207.6
申请日：2017-07-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/95
CPC分类号： G01N21/95 , G01N2021/9511
摘要： 本发明公开了一种大口径熔石英光学元件表面微缺陷快速暗场检测方法，首先采用明场面阵CCD显微系统对光学元件进行定位，确定光学元件在绝对坐标系下的位置，再利用光谱共焦测距系统确定光学元件强激光辐照出光面方程，最后利用暗场线阵CCD显微系统对精确移动的大口径熔石英光学元件表面进行单向光栅式逐行快速扫描，获取微缺陷信息，并采用明场面阵CCD显微系统在线监测光学元件。本发明实现了对光学元件表面微缺陷进行全口径自动化扫描，大大提高检测效率，全口径光学元件表面微缺陷的快速扫描与检测时间可控制在30min以内。
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公开(公告)号：CN105511040A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510410088.9
申请日：2015-07-13
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种用于大口径光学元件拆装的对接装置，包括拆装箱，所述拆装箱的上下两端均设有盖板，该盖板内壁上设有拆装导轨，所述拆装箱上下两端的盖板外壁上对称地设有对接机构；所述对接机构包括固定在盖板外壁上的滑道、可滑动地安装在所述滑道内的定位桥、以及位于定位桥与盖板外壁之间的搭接导轨；所述滑道靠近拆装箱敞口一端设有开口，所述搭接导轨与同侧的盖板之间留有间隙，当推动定位桥伸出开口时，所述搭接导轨能够在摩擦力作用下沿开口伸出拆装箱。本发明能够确保复杂光学系统中大口径光学元件的安全可靠的拆装，具有结构简单紧凑，调节方便，可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN107389688B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201710600243.2
申请日：2017-07-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G01S11/12 , B23K26/00 , B23K26/354
摘要： 本发明公开了一种大口径熔石英光学元件表面微缺陷多工位集成修复方法，将紫外激光预处理系统、显微检测系统和二氧化碳激光修复系统集中安装在多自由度熔石英光学元件定位平台上，实现三工位集成。对熔石英光学元件安装定位后，采用紫外激光光斑对光学元件表面进行全口径逐行往复式扫描预处理；然后利用显微检测系统对熔石英光学元件表面微缺陷进行全口径暗场扫描检测；最后选定需要修复的微缺陷兴趣点，通过CO2红外激光系统对光学元件表面微缺陷进行局部单点融熔修复，从而完成熔石英光学元件表面微缺陷的多工位集成修复，该工艺方法实现多工位集成，节约了各个工位的装夹时间至少150分钟，提高了微缺陷修复的效率。
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公开(公告)号：CN105759389B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201610231486.9
申请日：2016-04-14
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 具有平衡装置的大负载单端驱动移动平台，涉及一种大负载单端驱动移动平台。解决了现有单侧驱动易造成机构偏载，上升和下降过程中机构形变不同，影响设备的运行精度或安装过程中误差过大，会导致元件卡死在两侧导轨之间，造成设备损坏的问题。本发明的两个气缸结构的浮动接头的下端固定在承载框体的下边框的上表面，且浮动接头的上端与低摩擦力气缸杆螺纹连接，低摩擦力气缸杆在低摩擦力气缸体内做活塞运动，低摩擦力气缸体顶端穿过龙门横板与双耳环座固定链接，双耳环结构安装在龙门肋板上，双耳环结构(11)与双耳环座(12)之间通过气缸铰链轴铰接，实现相对旋转。本发明适用于作为单端驱动形成装置使用。
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公开(公告)号：CN105834636B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201610231493.9
申请日：2016-04-14
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G02B7/02
摘要： 大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用快速装夹随行夹具装置，涉及一种随行夹具。解决了现有光学元件随行夹具装置存在夹持不稳定、易划伤光学元件且夹持过程耗时的问题。本发明的夹具框体为矩形框架，夹具框体的底边框的下表面设有两个定位球头，且两个定位球头以夹具框体竖直方向的中线为对称轴对称设置，夹具框体的前侧设置有两个前挡板，且固定在夹具框体的底边框上，夹具框体的左右两个边框上分别设置有一个侧面顶柱，两个侧面顶柱均固定在夹具框体的后侧，夹具框的左右两个边框上的外侧分别设有一个球窝件，夹具框体的上边框上固定有上顶柱，底部定位夹持件的一端夹持在夹具框体下边框上。本发明适用于作为随行夹具使用。
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公开(公告)号：CN105511040B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201510410088.9
申请日：2015-07-13
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种用于大口径光学元件拆装的对接装置，包括拆装箱，所述拆装箱的上下两端均设有盖板，该盖板内壁上设有拆装导轨，所述拆装箱上下两端的盖板外壁上对称地设有对接机构；所述对接机构包括固定在盖板外壁上的滑道、可滑动地安装在所述滑道内的定位桥、以及位于定位桥与盖板外壁之间的搭接导轨；所述滑道靠近拆装箱敞口一端设有开口，所述搭接导轨与同侧的盖板之间留有间隙，当推动定位桥伸出开口时，所述搭接导轨能够在摩擦力作用下沿开口伸出拆装箱。本发明能够确保复杂光学系统中大口径光学元件的安全可靠的拆装，具有结构简单紧凑，调节方便，可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN107356608B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201710600207.6
申请日：2017-07-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/95
摘要： 本发明公开了一种大口径熔石英光学元件表面微缺陷快速暗场检测方法，首先采用明场面阵CCD显微系统对光学元件进行定位，确定光学元件在绝对坐标系下的位置，再利用光谱共焦测距系统确定光学元件强激光辐照出光面方程，最后利用暗场线阵CCD显微系统对精确移动的大口径熔石英光学元件表面进行单向光栅式逐行快速扫描，获取微缺陷信息，并采用明场面阵CCD显微系统在线监测光学元件。本发明实现了对光学元件表面微缺陷进行全口径自动化扫描，大大提高检测效率，全口径光学元件表面微缺陷的快速扫描与检测时间可控制在30min以内。
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公开(公告)号：CN105022166B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201510526032.X
申请日：2015-08-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B27/00
摘要： 本发明公开了一种大口径光学元件动态洁净保持和转运装置，包括呈长方体结构的洁净转运箱，其前端敞口，后端设有进风口；可拆卸地设置在所述洁净转运箱的前端敞口位置，并能够遮盖住该敞口的前挡板；可拆卸地安装在所述进风口位置，并能够遮盖住该进风口的后挡板；对称地设置在洁净转运箱顶壁和底面上的滑道，该滑道具有至少一条滑槽，所述滑槽中部的宽度大于其两端的宽度。本发明能够满足大口径光学元件在线安装维护和运行过程中的洁净要求，大口径光学元件在进入滑道后，能够实现一定的柔性调整，转运方便可靠，具有结构简单，操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN107389688A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710600243.2
申请日：2017-07-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G01S11/12 , B23K26/00 , B23K26/354
摘要： 本发明公开了一种大口径熔石英光学元件表面微缺陷多工位集成修复方法，将紫外激光预处理系统、显微检测系统和二氧化碳激光修复系统集中安装在多自由度熔石英光学元件定位平台上，实现三工位集成。对熔石英光学元件安装定位后，采用紫外激光光斑对光学元件表面进行全口径逐行往复式扫描预处理；然后利用显微检测系统对熔石英光学元件表面微缺陷进行全口径暗场扫描检测；最后选定需要修复的微缺陷兴趣点，通过CO2红外激光系统对光学元件表面微缺陷进行局部单点融熔修复，从而完成熔石英光学元件表面微缺陷的多工位集成修复，该工艺方法实现多工位集成，节约了各个工位的装夹时间至少150分钟，提高了微缺陷修复的效率。
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公开(公告)号：CN105181601B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201510556941.8
申请日：2015-09-02
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 大口径曲面光学元件微缺陷修复用可微调显微检测装置,涉及一种曲面微缺陷检测装置。解决了大口径光学元件表面微缺陷的快速识别的定位精确度差的问题。本发明的暗场检测单元对熔石英光学元件曲面上的所有缺陷进行全口径扫描，并对扫描的微缺陷图像进行处理，确定微缺陷点的尺寸以及在光学元件表面上的坐标位置；明场监测单元对暗场检测单元处理后的微缺陷点进行实时监测，以观察缺陷点的实际尺寸大小；光谱共焦测距单元通过测量该可微调显微监测装置与曲面光学元件表面之间的距离，对表面上任意一微缺陷点进行Z向的精确定位。本发明适用性于学元件微缺陷修复用使用。
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