一种Cu‑Ag非晶合金薄膜及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种Cu‑Ag非晶合金薄膜及其制备方法,其特征在于非晶合金薄膜的结构式为Cu68Ag32;该非晶合金薄膜是采用真空镀膜法获得,蒸镀方式是最简单的电阻蒸发;在蒸镀实验过程中,将Cu、Ag块料分别置入两个蒸发舟内,抽真空到5×10‑4Pa时,开始镀膜,分别将Cu块和Ag块的蒸发电流调节到125A和100A,整个蒸镀过程采用水冷系统防止靶材温度过高。本发明获得的Cu68Ag32非晶合金薄膜非晶结构明晰,表面致密平整,并且本发明的方法操作简单,成本较低。
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