发明授权
CN105177468B 一种Cu‑Ag非晶合金薄膜及其制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种Cu‑Ag非晶合金薄膜及其制备方法
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申请号: CN201510528837.8申请日: 2015-08-24
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公开(公告)号: CN105177468B公开(公告)日: 2017-04-05
- 发明人: 张博 , 朱振西 , 汪泉 , 张倩
- 申请人: 合肥工业大学
- 申请人地址: 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- 专利权人: 合肥工业大学
- 当前专利权人: 合肥工业大学
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- 代理机构: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司
- 代理商 何梅生; 卢敏
- 主分类号: C22C45/00
- IPC分类号: C22C45/00 ; C23C14/14 ; C23C14/24
摘要:
本发明公开了一种Cu‑Ag非晶合金薄膜及其制备方法,其特征在于非晶合金薄膜的结构式为Cu68Ag32;该非晶合金薄膜是采用真空镀膜法获得,蒸镀方式是最简单的电阻蒸发;在蒸镀实验过程中,将Cu、Ag块料分别置入两个蒸发舟内,抽真空到5×10‑4Pa时,开始镀膜,分别将Cu块和Ag块的蒸发电流调节到125A和100A,整个蒸镀过程采用水冷系统防止靶材温度过高。本发明获得的Cu68Ag32非晶合金薄膜非晶结构明晰,表面致密平整,并且本发明的方法操作简单,成本较低。
公开/授权文献
- CN105177468A 一种Cu-Ag非晶合金薄膜及其制备方法 公开/授权日:2015-12-23