一种利用脉冲激光辅助离子液体电沉积制备半导体材料的装置
摘要:
本发明提供一种激光诱导离子液体电沉积制备锗纳米阵列的方法,属于锗纳米阵列制备方法技术领域。解决现有的锗纳米阵列的制备方法要求高温度,且制备工艺复杂有毒的问题。该方法是利用离子液体电沉积技术与激光辐照技术的结合,使用无毒无污染的绿色离子液体1-乙基-3-甲基咪唑双三氟甲磺酰亚胺盐做为溶剂,Gecl4为电解质,脉冲激光器辐照电解液,一步法电沉积制备锗纳米阵列。该制备方法不要求高温度,工艺简单,操作方便,易于实现。
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