发明公开
CN105177648A 一种利用脉冲激光辅助离子液体电沉积制备半导体材料的装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种利用脉冲激光辅助离子液体电沉积制备半导体材料的装置
- 专利标题(英): Device for preparing semiconductor material by using pulse laser for assisting ionic liquid electrolytic deposition
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申请号: CN201510449811.4申请日: 2015-07-28
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公开(公告)号: CN105177648A公开(公告)日: 2015-12-23
- 发明人: 孟祥东 , 于兆亮 , 李海波 , 华杰 , 曲晓慧 , 胡悦
- 申请人: 吉林师范大学
- 申请人地址: 吉林省四平市铁西区海丰大街1301号
- 专利权人: 吉林师范大学
- 当前专利权人: 吉林师范大学
- 当前专利权人地址: 吉林省四平市铁西区海丰大街1301号
- 代理机构: 长春菁华专利商标代理事务所
- 代理商 李外
- 主分类号: C25D5/00
- IPC分类号: C25D5/00 ; C25D19/00
摘要:
本发明提供一种激光诱导离子液体电沉积制备锗纳米阵列的方法,属于锗纳米阵列制备方法技术领域。解决现有的锗纳米阵列的制备方法要求高温度,且制备工艺复杂有毒的问题。该方法是利用离子液体电沉积技术与激光辐照技术的结合,使用无毒无污染的绿色离子液体1-乙基-3-甲基咪唑双三氟甲磺酰亚胺盐做为溶剂,Gecl4为电解质,脉冲激光器辐照电解液,一步法电沉积制备锗纳米阵列。该制备方法不要求高温度,工艺简单,操作方便,易于实现。
公开/授权文献
- CN105177648B 一种利用脉冲激光辅助离子液体电沉积制备半导体材料的装置 公开/授权日:2017-07-18