- 专利标题: 基于光纤透镜的器件微米尺度温度分布的测量方法及系统
- 专利标题(英): Measuring method and system for micrometer-scale temperature distribution of a device on the basis of a fiber lens
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申请号: CN201510648667.7申请日: 2015-10-09
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公开(公告)号: CN105241577A公开(公告)日: 2016-01-13
- 发明人: 刘国栋 , 胡流森 , 吴凌远
- 申请人: 中国工程物理研究院流体物理研究所
- 申请人地址: 四川省成都市绵山路64号科学城
- 专利权人: 中国工程物理研究院流体物理研究所
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院流体物理研究所
- 当前专利权人地址: 四川省成都市绵山路64号科学城
- 代理机构: 西北工业大学专利中心
- 代理商 顾潮琪
- 主分类号: G01K11/32
- IPC分类号: G01K11/32
摘要:
本发明提供了一种基于光纤透镜的器件微米尺度温度分布的测量方法及系统,将稀土薄膜涂覆在待测量的器件样品表面;将激光照射到稀土薄膜表面,采集稀土薄膜激发的两种不同波长的荧光;将两种不同波长的荧光分离,并将不同波长荧光下的稀土薄膜分别成像;对不同波长荧光下的稀土薄膜成像分别进行解调,通过计算不同波长荧光下的稀土薄膜成像对应点的能量比,获得待测量器件表面的二维温度分布。本发明具有测温快、精度高等优点,并能够实时显示器件表面的二维温度分布状况。
公开/授权文献
- CN105241577B 基于光纤透镜的器件微米尺度温度分布的测量方法及系统 公开/授权日:2018-03-23