GaN基发光二极管的制作方法
摘要:
本发明实施例提供种GaN基发光二极管的制作方法,包括:在基板上形成外延叠层;在外延叠层上形成电流阻挡层图案和透明导电层图案;进行干法刻蚀,使得部分N型第半导体层裸露,形成台面;在台面上形成绝缘保护层,对所述绝缘保护层进行电极光刻,形成第电极开孔和第二电极开孔,在电极开孔内形成金属电极,从而形成发光二极管。本发明提供的GaN基发光二极管的制作方法,通过调整各结构的光刻和刻蚀顺序,使得总工艺流程中仅需要经过三次光刻即可获得与采用常规工艺获得的结构相同的发光二极管,减少了发光二极管的制作时间,降低了材料成本和生产成本。
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