• 专利标题: 半导体器件及其制造方法
  • 专利标题(英): Semiconductor device and manufacturing method therefor
  • 申请号: CN201410392234.5
    申请日: 2014-08-11
  • 公开(公告)号: CN105336782A
    公开(公告)日: 2016-02-17
  • 发明人: 李迪
  • 申请人: 唐棕
  • 申请人地址: 湖南省衡阳市珠晖区互助里11号6-2室
  • 专利权人: 唐棕
  • 当前专利权人: 唐棕
  • 当前专利权人地址: 湖南省衡阳市珠晖区互助里11号6-2室
  • 代理机构: 北京成创同维知识产权代理有限公司
  • 代理商 蔡纯; 冯丽欣
  • 主分类号: H01L29/78
  • IPC分类号: H01L29/78 H01L23/48 H01L21/336 H01L21/768
半导体器件及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种半导体器件及其制造方法。所述半导体器件包括:半导体衬底;位于半导体衬底上方的栅叠层,所述栅叠层包括栅极导体以及夹在栅极导体和半导体衬底之间的栅极电介质;位于栅叠层的侧面上的栅极侧墙;位于半导体衬底中的源区和漏区;以及分别与源区、漏区和栅极导体电连接的第一导电通道、第二导电通道和第三导电通道,其中所述第一导电通道和第二导电通道中的每个导电通道包括与栅极侧墙相邻的第一部分和位于栅极侧墙上方的第二部分,所述第一部分的顶部与栅极侧墙的顶部齐平,并且与所述第二部分的底部接触。该半导体器件利用栅极侧墙将栅极导体与第一和第二导电通道的第一部分隔开,从而减少了栅极与源极和漏极之间短接的发生。此外,第一和第二导电通道的第一部分和第二部分可以采用不同的导电材料,从而可以减小互连电阻和/或改善导热能力。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/76 ...单极器件
H01L29/772 ....场效应晶体管
H01L29/78 .....由绝缘栅产生场效应的
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