- 专利标题: 一种LTCC厚薄膜混合基板制造中的基板腔体填充方法
- 专利标题(英): Substrate chamber filling method in manufacture of low-temperature co-fired ceramic (LTCC) thick-film mixed substrate
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申请号: CN201510669853.9申请日: 2015-10-13
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公开(公告)号: CN105390403A公开(公告)日: 2016-03-09
- 发明人: 党元兰 , 赵飞 , 徐亚新 , 梁广华 , 刘晓兰 , 陈雨 , 庄志学 , 李攀峰
- 申请人: 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 申请人地址: 河北省石家庄市中国电子科技集团公司第五十四研究所微组装中心
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市中国电子科技集团公司第五十四研究所微组装中心
- 代理机构: 河北东尚律师事务所
- 代理商 王文庆
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48
摘要:
本发明公开了LTCC厚薄膜混合基板制造领域中的一种基板腔体填充方法—UV膜腔体填充法,包括UV膜厚度、热切成型所用的UV膜载体材料、UV膜外形尺寸、多层UV总厚度与腔体高度差等。采用本发明的技术方案,其工艺简单易行、基板腔体填充效果好。
公开/授权文献
- CN105390403B 一种LTCC厚薄膜混合基板制造中的基板腔体填充方法 公开/授权日:2017-10-20
IPC分类: