Invention Grant
- Patent Title: 用于诸如MEMS压力传感器之类的对机械和热机械应力敏感的半导体器件的封装
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Application No.: CN201510624478.6Application Date: 2015-09-25
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Publication No.: CN105621343BPublication Date: 2018-05-11
- Inventor: F·V·丰塔纳 , J·塔利多
- Applicant: 意法半导体股份有限公司 , 意法半导体公司
- Applicant Address: 意大利阿格拉布里安扎
- Assignee: 意法半导体股份有限公司,意法半导体公司
- Current Assignee: 意法半导体国际有限公司
- Current Assignee Address: 瑞士日内瓦
- Agency: 北京市金杜律师事务所
- Agent 王茂华; 吕世磊
- Main IPC: B81B7/00
- IPC: B81B7/00 ; B81C1/00
Abstract:
本公开涉及用于诸如MEMS压力传感器之类的对机械和热机械应力敏感的半导体器件的封装。表面安装器件(50)具有诸如ASIC之类的半导体材料的一个主体(6)和包围主体的封装。封装具有承载主体的基部区域(15)、盖(20)和接触端子(3)。基部区域(15)具有低于5MPa的杨氏模量。为了形成器件,将主体(6)附接至包括由空腔分开的接触端子(3)和裸片焊盘(2)的支撑框架(1);将键合接线(14)焊接至主体(6)并焊接至接触端子(3);以至少部分包围主体(6)的侧面、填充支撑框架(1)的空腔且覆盖键合接线(14)的在接触端子上的端部的方式模制弹性材料;和将盖(20)固定至基部区域(15)。接着将裸片焊盘(2)蚀刻掉。
Public/Granted literature
- CN105621343A 用于诸如MEMS压力传感器之类的对机械和热机械应力敏感的半导体器件的封装 Public/Granted day:2016-06-01
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