密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置
摘要:
本发明提供一种可提高密封性的密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置。密封机构是分隔压力或气体不同的2个空间的密封机构,其包括:外壳;轴,其插入到外壳中;以及多个环状密封部件,其与轴的一部分或固定于轴的旋转部的径向外侧表面接触,对间隙进行密封。多个环状密封部件分别含有不同材质的材料,配置于与轴的中心轴平行的轴向上的不同位置。
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