发明授权
CN105765277B 密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置
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申请号: CN201480064689.2申请日: 2014-12-10
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公开(公告)号: CN105765277B公开(公告)日: 2017-11-17
- 发明人: 中村刚 , 金秀树 , 樋口英也
- 申请人: 日本精工株式会社
- 申请人地址: 日本国东京都品川区
- 专利权人: 日本精工株式会社
- 当前专利权人: 日本精工株式会社
- 当前专利权人地址: 日本国东京都品川区
- 代理机构: 北京德崇智捷知识产权代理有限公司
- 代理商 刘小静
- 优先权: 2013-255488 2013.12.10 JP
- 国际申请: PCT/JP2014/082723 2014.12.10
- 国际公布: WO2015/087925 JA 2015.06.18
- 进入国家日期: 2016-05-26
- 主分类号: F16J15/3204
- IPC分类号: F16J15/3204 ; F16C19/04 ; F16C33/78 ; F16C35/063 ; F16C35/07 ; H01L21/68
摘要:
本发明提供一种可提高密封性的密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置。密封机构是分隔压力或气体不同的2个空间的密封机构,其包括:外壳;轴,其插入到外壳中;以及多个环状密封部件,其与轴的一部分或固定于轴的旋转部的径向外侧表面接触,对间隙进行密封。多个环状密封部件分别含有不同材质的材料,配置于与轴的中心轴平行的轴向上的不同位置。
公开/授权文献
- CN105765277A 密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置 公开/授权日:2016-07-13
IPC分类: