公开(公告)号：CN105765277B

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201480064689.2

申请日：2014-12-10

申请人： 日本精工株式会社

发明人： 中村刚 ,  金秀树 ,  樋口英也

IPC分类号： F16J15/3204 ,  F16C19/04 ,  F16C33/78 ,  F16C35/063 ,  F16C35/07 ,  H01L21/68

CPC分类号： F16J15/3284 ,  F16C19/54 ,  F16C33/7886 ,  F16C35/06 ,  F16C2226/60 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/68792

摘要： 本发明提供一种可提高密封性的密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置。密封机构是分隔压力或气体不同的2个空间的密封机构，其包括：外壳；轴，其插入到外壳中；以及多个环状密封部件，其与轴的一部分或固定于轴的旋转部的径向外侧表面接触，对间隙进行密封。多个环状密封部件分别含有不同材质的材料，配置于与轴的中心轴平行的轴向上的不同位置。

公开(公告)号：CN105765276B

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201480064688.8

申请日：2014-12-10

申请人： 日本精工株式会社

发明人： 樋口英也 ,  中村刚 ,  金秀树

IPC分类号： F16J15/3204 ,  F16C33/76 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67126 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/68792

摘要： 本发明提供用于分隔压力不同的2个空间的密封机构，其包括：外壳；轴，其插入到外壳中；环状密封部件，其与轴的径向外侧表面或固定于轴的旋转部的径向外侧表面接触，对间隙进行密封；以及润滑剂槽，其存储对环状密封部件与径向外侧表面之间供给的润滑剂。

公开(公告)号：CN105765276A

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201480064688.8

申请日：2014-12-10

申请人： 日本精工株式会社

发明人： 樋口英也 ,  中村刚 ,  金秀树

IPC分类号： F16J15/3204 ,  F16C33/76 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67126 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/68792

摘要： 本发明提供用于分隔压力不同的2个空间的密封机构，其包括：外壳；轴，其插入到外壳中；环状密封部件，其与轴的径向外侧表面或固定于轴的旋转部的径向外侧表面接触，对间隙进行密封；以及润滑剂槽，其存储对环状密封部件与径向外侧表面之间供给的润滑剂。

公开(公告)号：CN105765277A

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201480064689.2

申请日：2014-12-10

申请人： 日本精工株式会社

发明人： 中村刚 ,  金秀树 ,  樋口英也

IPC分类号： F16J15/3204 ,  F16C19/04 ,  F16C33/78 ,  F16C35/063 ,  F16C35/07 ,  H01L21/68

CPC分类号： F16J15/3284 ,  F16C19/54 ,  F16C33/7886 ,  F16C35/06 ,  F16C2226/60 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/68792

摘要： 本发明提供一种可提高密封性的密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置。密封机构是分隔压力或气体不同的2个空间的密封机构，其包括：外壳；轴，其插入到外壳中；以及多个环状密封部件，其与轴的一部分或固定于轴的旋转部的径向外侧表面接触，对间隙进行密封。多个环状密封部件分别含有不同材质的材料，配置于与轴的中心轴平行的轴向上的不同位置。