- 专利标题: 基于黑磷和磁控溅射氮化铝的氮化镓生长方法
- 专利标题(英): Gallium nitride growth method based on black phosphorus and magnetron sputtering aluminum nitride
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申请号: CN201610333373.X申请日: 2016-05-19
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公开(公告)号: CN105931946A公开(公告)日: 2016-09-07
- 发明人: 张进成 , 朱家铎 , 陈智斌 , 庞凯 , 吕佳骐 , 许晟瑞 , 林志宇 , 宁静 , 张金 , 郝跃
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 代理机构: 陕西电子工业专利中心
- 代理商 田文英; 王品华
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02
摘要:
本发明公开了一种基于黑磷和磁控溅射氮化铝的氮化镓生长方法,主要用于改善氮化镓材料质量。其生长步骤是:(1)制备黑磷过渡层;(2)磁控溅射氮化铝过渡层;(3)热处理;(4)生长氮化铝缓冲层;(5)生长低V‑Ш比氮化镓层;(6)生长高V‑Ш比氮化镓层。本发明的氮化镓薄膜的优点在于,结合了黑磷和磁控溅射氮化铝,材料质量优异,适用衬底范围大,可用于制作高性能的氮化镓基器件。
公开/授权文献
- CN105931946B 基于黑磷和磁控溅射氮化铝的氮化镓生长方法 公开/授权日:2018-06-26
IPC分类: