发明公开
- 专利标题: 具有照度调整机制的多单元测试探针卡及其照度调整方法
- 专利标题(英): Multi-unit test probe card with illuminance regulation mechanism and illuminance regulation method
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申请号: CN201610145758.3申请日: 2016-03-15
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公开(公告)号: CN105988025A公开(公告)日: 2016-10-05
- 发明人: 余陈志 , 张嘉泰 , 蔡锦溢 , 范馨文
- 申请人: 旺矽科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹县竹北市中和街155号
- 专利权人: 旺矽科技股份有限公司
- 当前专利权人: 旺矽科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹县竹北市中和街155号
- 代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 关畅; 王燕秋
- 优先权: 104204261 2015.03.20 TW; 104126159 2015.08.11 TW
- 主分类号: G01R1/067
- IPC分类号: G01R1/067 ; G01R1/07 ; G01R1/073
摘要:
本发明涉及一种多单元测试探针卡及其照度调整方法,所述探针卡用于同时测试多个光电元件,且包含一电路板、多个遮光片及多个探针。所述电路板具有供测试光线通过的多个透光孔,各透光孔的位置能分别与各光电元件对应。各遮光片能更换地分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上,且各所述遮光片具有一基底及一设于基底的图案,所述基底的透光率高于图案的透光率,至少二所述遮光片的透光率相异。各所述探针分别电性连接所述电路板,用于点触各所述光学元件。由此,本发明的探针卡可利用成本较低、较容易且快速达到的方式调整受测物的光照程度。