公开(公告)号：CN105988025A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201610145758.3

申请日：2016-03-15

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 余陈志 ,  张嘉泰 ,  蔡锦溢 ,  范馨文

IPC分类号： G01R1/067 ,  G01R1/07 ,  G01R1/073

CPC分类号： G01R1/06727 ,  G01R1/07 ,  G01R1/07314

摘要： 本发明涉及一种多单元测试探针卡及其照度调整方法，所述探针卡用于同时测试多个光电元件，且包含一电路板、多个遮光片及多个探针。所述电路板具有供测试光线通过的多个透光孔，各透光孔的位置能分别与各光电元件对应。各遮光片能更换地分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上，且各所述遮光片具有一基底及一设于基底的图案，所述基底的透光率高于图案的透光率，至少二所述遮光片的透光率相异。各所述探针分别电性连接所述电路板，用于点触各所述光学元件。由此，本发明的探针卡可利用成本较低、较容易且快速达到的方式调整受测物的光照程度。

公开(公告)号：CN104237667A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410034775.0

申请日：2014-01-24

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 张嘉泰 ,  蔡锦溢 ,  陈秋桂 ,  余陈志 ,  赖建彰 ,  杨金田 ,  杨惠彬 ,  张庚生 ,  范馨文 ,  涂淑惠

IPC分类号： G01R31/00 ,  G01R1/073

摘要： 本发明涉及一种检测装置，包括一电路板，具有一第一面、一第二面以及至少一第一狭槽，所述第一面与所述第二面相对设置，所述至少一第一狭槽贯穿所述电路板并连通所述第一面与所述第二面；多个固定件，固定于所述第一面；多个探针，每一探针具有一侦测部、一延伸部以及一焊接部，所述侦测部具有一侦测端以及一悬臂，所述悬臂连接所述侦测端与所述延伸部一端，且所述悬臂连接于其中一所述固定件，所述延伸部另一端连接所述焊接部，其中，所述悬臂与所述延伸部之间具有一第一夹角，所述侦测端与所述悬臂之间具有一第二夹角，所述延伸部经由所述第一狭槽穿过所述电路板，所述焊接部焊接于所述第二面。本发明可以同时检测待测晶圆上的多个电子元件，有效节省探针卡上的探针布设空间以及晶圆测试的工时。

公开(公告)号：CN201247263Y

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200820130887.6

申请日：2008-07-31

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 张嘉泰 ,  范馨文

IPC分类号： G01R1/067

摘要： 一种可调式探针座，包含有一连结座及一调整座；该连结座一端面形成有一容槽，另一相对端面上形成有多数贯通至该容槽的第一结合孔；该调整座用以供探针连接，具有二第一调整座体，该各第一调整座体分别具有多数贯穿二相对侧面的第一连接螺孔；该各第一调整座体以一侧置入于该连结座的容槽中并距有预定距离，该第一连接螺孔与该第一结合孔的位置对应，并以若干螺接件分别由各第一结合孔穿入而与该第一连接螺孔锁接，且该螺接件的外径小于该第一结合孔的孔径，使该螺接件可于该第一结合孔中进行相对的径向位移；由此达成调整探针的针尖间距。