本发明公开了一种涂胶装置，该装置包括载台、吸附于载台之上的晶圆，以及晶圆上方的胶体注入管路，胶体注入管路具有一喷头，该喷头正对晶圆表面，该装置还包括：一圆形托盘，设置于晶圆上方，在涂胶时该圆形托盘与晶圆一起夹住旋涂于晶圆表面的胶体，使胶体不会朝某个方向流出，并能得到较厚的胶膜。对于需要将粘度较小的胶涂布成较厚的膜时，本发明提供的这种涂胶装置，圆形托盘与晶圆可以一起先将胶体夹住一段时间，等胶体粘度增大到某个点时，再进行旋涂，进而能够得到较厚的胶膜。