发明公开
- 专利标题: 用于双向器件制造的系统和方法
- 专利标题(英): Systems and methods for bidirectional device fabrication
-
申请号: CN201480065680.3申请日: 2014-12-10
-
公开(公告)号: CN106062958A公开(公告)日: 2016-10-26
- 发明人: 理查德·A·布兰查德 , 威廉·C·亚历山大
- 申请人: 理想能量有限公司
- 申请人地址: 美国德克萨斯州
- 专利权人: 理想能量有限公司
- 当前专利权人: 理想能量有限公司
- 当前专利权人地址: 美国德克萨斯州
- 代理机构: 上海脱颖律师事务所
- 代理商 脱颖
- 优先权: 61/914,491 2013.12.11 US; 61/924,884 2014.01.08 US; 61/928,644 2014.01.17 US; 61/929,874 2014.01.21 US; 14/313,960 2014.06.24 US
- 国际申请: PCT/US2014/069611 2014.12.10
- 国际公布: WO2015/089227 EN 2015.06.18
- 进入国家日期: 2016-06-01
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739
摘要:
用于双侧面半导体器件制造的方法和系统。可以使用耐高温操作晶片和耐中温操作晶片制造在每个表面上具有多个引线的器件。掺杂剂可以被引入在两个侧面上,之后不久,单次长时间高温扩散步骤将所有的掺杂剂在两个侧面上扩散到大致相等的深度。所有的高温处理在没有附接操作晶片的情况下发生,或者在附接有高温操作晶片的情况下发生。一旦中温操作晶片被附接,则不会发生高温处理步骤。高温可以被认为是存在铝基金属时可能对所述器件造成损坏的那些温度。
公开/授权文献
- CN106062958B 用于双向器件制造的系统和方法 公开/授权日:2019-11-19
IPC分类: