基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法
摘要:
本发明公开了一种基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法,通过在双波长斐索干涉仪装置中,先后采集参考光波与待测平面镜前表面的反射光波的干涉图,通过第一步移相测量得到波长λ1和λ2对应的波前像差数据ΔW11(x,y)、ΔW21(x,y);采集参考光波与透过待测平面镜并被待测平面镜后表面反射的光波的干涉图,通过移相测量得到波长λ1和λ2对应的波前像差数据ΔW12(x,y)、ΔW22(x,y)。通过两步测量得到的对应波长波前像差数据求差值,获得待测平面镜光学非均匀性。本发明不需要引入标准反射镜,完全消除了标准反射镜的面形对测量结果的影响,测量步骤简单,弥补了传统绝对测量方法步骤繁琐、易受空气扰动的缺点。
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