发明公开
CN106092514A 基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法
- 专利标题(英): Optical heterogeneity measurement device and method based on dual wavelength fizeau interferometer
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申请号: CN201510209977.9申请日: 2015-04-28
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公开(公告)号: CN106092514A公开(公告)日: 2016-11-09
- 发明人: 高志山 , 王凯亮 , 成金龙 , 王伟 , 王帅 , 袁群 , 杨忠明 , 朱丹 , 窦建泰 , 叶井飞
- 申请人: 南京理工大学
- 申请人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 朱显国
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02
摘要:
本发明公开了一种基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法,通过在双波长斐索干涉仪装置中,先后采集参考光波与待测平面镜前表面的反射光波的干涉图,通过第一步移相测量得到波长λ1和λ2对应的波前像差数据ΔW11(x,y)、ΔW21(x,y);采集参考光波与透过待测平面镜并被待测平面镜后表面反射的光波的干涉图,通过移相测量得到波长λ1和λ2对应的波前像差数据ΔW12(x,y)、ΔW22(x,y)。通过两步测量得到的对应波长波前像差数据求差值,获得待测平面镜光学非均匀性。本发明不需要引入标准反射镜,完全消除了标准反射镜的面形对测量结果的影响,测量步骤简单,弥补了传统绝对测量方法步骤繁琐、易受空气扰动的缺点。
公开/授权文献
- CN106092514B 基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法 公开/授权日:2018-10-02