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公开(公告)号：CN106092514A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201510209977.9
申请日：2015-04-28
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法，通过在双波长斐索干涉仪装置中，先后采集参考光波与待测平面镜前表面的反射光波的干涉图，通过第一步移相测量得到波长λ1和λ2对应的波前像差数据ΔW11(x，y)、ΔW21(x，y)；采集参考光波与透过待测平面镜并被待测平面镜后表面反射的光波的干涉图，通过移相测量得到波长λ1和λ2对应的波前像差数据ΔW12(x，y)、ΔW22(x，y)。通过两步测量得到的对应波长波前像差数据求差值，获得待测平面镜光学非均匀性。本发明不需要引入标准反射镜，完全消除了标准反射镜的面形对测量结果的影响，测量步骤简单，弥补了传统绝对测量方法步骤繁琐、易受空气扰动的缺点。
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公开(公告)号：CN104165758A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410439298.6
申请日：2014-08-29
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种基于斐索干涉仪的透镜焦距测量装置及方法。本发明通过在斐索涉仪装置中，先后在干涉腔中插入两块不同厚度的平行平板，来引入物点和像点的轴向位移，实现透镜焦距的测量。首先将玻璃平板放置在猫眼位置，当测试光路中不放置平行平板时，通过移相干涉测量得到测试波前数据W1和参考波前数据W0之差W1-W0。分别将两个不同厚度的平行平板置在测试光路中，通过移相干涉测量得出两个不同的波差W2-W0和波面W3-W0。采用波前差分算法通过计算求得波差W2-W1、波差W3-W1和高斯成像公式，推导出透镜焦距的计算公式。本发明采用非接触式的测量方法避免了对透镜表面的损坏，同时该发明适用于正负透镜焦距的测量。
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公开(公告)号：CN106482839B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201510522812.7
申请日：2015-08-24
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明公开了一种斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法。两种波长同时工作时通过采用二向色镜实现了单波长移相干涉图的采集，同时仅需针对部分光路进行消色差设计实现两种波长下的工作。其次，针对传统双波长移相干涉测试装置采用PZT移相而引起的不同波长下移相误差的问题，采用合成波长结合单波长相位处理的方式，抑制了不同波长下移相误差对合成波长相位的影响，避免两种波长下移相步进量进行标定。该方法同样对不同波长下的振动、多光束干涉等误差有效。由于仅需控制单个波长下的测试精度，因此该方法对合成波长相位数据的提取过程快速简单。
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公开(公告)号：CN106595529B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201610147404.2
申请日：2016-03-15
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/255
摘要： 本发明提出一种基于虚拟牛顿环的球面大曲率半径非零位测量方法及装置。该方法利用二阶极坐标变换将圆载频牛顿环干涉图转换为线载频干涉图，利用二阶极坐标下的线载频待测牛顿环干涉图和线载频标准牛顿环干涉图叠加形成的莫尔条纹，通过解调低通滤波后的低频莫尔条纹图，提取出待测球面与标准球面的波前差分数据，推导出了曲率半径的计算公式。基于ZEMAX软件的菲索型球面大曲率半径非零位检测系统的模型，利用有限迭代的方法校正了非零位检测中牛顿环干涉图采集时存在的回程误差。构建了菲索型球面大曲率半径非零位检测系统，完成了基于虚拟牛顿环的球面大曲率半径非零位测量技术的验证。
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公开(公告)号：CN106482664B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201510523660.2
申请日：2015-08-24
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/25
摘要： 本发明公开了一种基于圆载频莫尔条纹理论的合成波长相位提取方法，基于莫尔条纹理论利用双波长干涉测试装置检测非球面时，可以得到两种波长干涉条纹叠加后的圆载频莫尔条纹图，提出了一种从圆载频莫尔条纹图直接提取合成波长相位的方法。通过以合成波长的π/2为移相步进量进行移相，对圆载频莫尔条纹移相干涉图去除直流分量后平方，并采用二次极坐标变换，得到线载频莫尔条纹图，结合载频交叠重构理论，在频谱域实现对低频的合成波长分量的提取，最终提取出合成波长相位，解决了单波长检测时条纹过密无法恢复相位的问题。
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公开(公告)号：CN104655053B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201310609016.8
申请日：2013-11-25
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/255
摘要： 本发明公开了一种基于针孔式点衍射干涉仪的球面镜曲率半径测量装置及方法。本发明通过在针孔式点衍射干涉仪装置中，先后于干涉腔中插入两块不同厚度的平行平板，来实现两次定量的离焦。当测试光路中不放置平行平板时，通过移相测量得到波面数据W0，分别放置两个不同厚度的平行平板在测试光路中，通过移相测量得出两个不同的波面W1和波面W2，通过W1和W0的离焦系数之差、W2和W0的离焦系数之差和高斯成像公式，推导出球面反射镜曲率半径的计算公式。本发明采用非接触式的测量方法避免了对球面镜表面的损坏，为大数值孔径球面镜曲率半径的无损伤测量提供了可行的方法，同时适用于大数值孔径球面镜的面形检测。
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公开(公告)号：CN104730085A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310706251.7
申请日：2013-12-19
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明公开了一种双焦波带片干涉显微检测平面掩膜缺陷的装置，共光轴依次布置光源、孔径光阑、正透镜、半透半反分光镜、双焦波带片、待测平面掩膜，光线经孔径光阑形成点光源，再经正透镜形成平行光，平行光穿过半透半反分光镜，入射到双焦波带片上，0级衍射光束满足折射原理，+1级衍射光线在双焦波带片相位函数的调控下实现汇聚，携带待测平面掩膜表面面型相位信息的光反射形成返回光路。本发明中采用参考光与测试光共光路的双焦波带片显微干涉系统，双焦波带片实现了无焦和有焦距共存的衍射器件，相比于多片的透射透镜组系统，减少了透镜组透射的数量，而且双焦波带片干涉显微系统实现了振幅型缺陷和位相型缺陷的同步检测的功能。
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公开(公告)号：CN106482839A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510522812.7
申请日：2015-08-24
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明公开了一种斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法。两种波长同时工作时通过采用二向色镜实现了单波长移相干涉图的采集，同时仅需针对部分光路进行消色差设计实现两种波长下的工作。其次，针对传统双波长移相干涉测试装置采用PZT移相而引起的不同波长下移相误差的问题，采用合成波长结合单波长相位处理的方式，抑制了不同波长下移相误差对合成波长相位的影响，避免两种波长下移相步进量进行标定。该方法同样对不同波长下的振动、多光束干涉等误差有效。由于仅需控制单个波长下的测试精度，因此该方法对合成波长相位数据的提取过程快速简单。
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