- 专利标题： 上环形下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
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申请号： CN201610635008.4申请日： 2016-08-04
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公开(公告)号： CN106168483B公开(公告)日： 2020-11-06
- 发明人: 张卫平 , 欧彬 , 刘朝阳 , 唐健 , 孙殿竣 , 邢亚亮 , 朱甲强 , 陈畅 , 王晨阳 , 崔峰
- 申请人： 上海交通大学
- 申请人地址： 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人： 上海交通大学
- 当前专利权人： 上海交通大学
- 当前专利权人地址： 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构： 上海汉声知识产权代理有限公司
- 代理商 徐红银; 郭国中
- 主分类号： G01C19/5684
- IPC分类号： G01C19/5684
摘要：
本发明提出了一种上环形下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
公开/授权文献
- CN106168483A 上环形下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法 公开/授权日：2016-11-30
IPC分类:
