- 专利标题: 薄膜晶体管及其制备方法、薄膜晶体管面板以及显示装置
- 专利标题(英): Thin film transistor and preparation method thereof, thin film transistor panel and display device
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申请号: CN201510219860.9申请日: 2015-05-04
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公开(公告)号: CN106206743A公开(公告)日: 2016-12-07
- 发明人: 庄大明 , 赵明 , 曹明杰 , 郭力 , 高泽栋 , 魏要伟
- 申请人: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室
- 专利权人: 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 当前专利权人: 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; H01L29/24 ; H01L29/66 ; H01L21/02 ; H01L27/12
摘要:
本发明涉及一种薄膜晶体管,包括半导体层、源极、漏极、栅极及绝缘层,该源极与漏极间隔设置,该半导体层与该源极和漏极电连接,该栅极通过该绝缘层与该半导体层、源极及漏极绝缘设置,该半导体层为一氧化物半导体膜,该氧化物半导体膜含有铟元素(In)、铈元素(Ce)、锌元素(Zn)及氧元素(O),该In:Ce:Zn的摩尔比为2:(0.5~2):1,氧化物半导体膜为n型半导体,12 -3 20 -3载流子浓度为10 cm ~10 cm ,载流子迁移率为5.0cm2V-1s-1~45.0cm2V-1s-1。本发明还涉及一种薄膜晶体管的制备方法,一薄膜晶体管面板及一显示装置。
公开/授权文献
- CN106206743B 薄膜晶体管及其制备方法、薄膜晶体管面板以及显示装置 公开/授权日:2020-04-28
IPC分类: