基于SOI‑MEMS技术的电容式绝压微压气压传感器
摘要:
基于SOI‑MEMS技术的电容式绝压微压气压传感器,涉及一种电容式绝压微压气压传感器敏感芯片领域;包括SOI晶圆器件层、二氧化硅层、SOI晶圆衬底层和键合封装盖板玻璃;其中,SOI晶圆器件层为方形结构,且水平位于底部;二氧化硅层固定安装在SOI晶圆器件层的上表面;SOI晶圆衬底层固定安装在二氧化硅层的上表面;键合封装盖板玻璃固定安装在SOI晶圆衬底层的上表面;避免了电极引线贯穿真空腔封装键合界面,增加微压传感器的真空封装性能和可靠性,传感器的性能指标、一致性、成品率可以得到很好保证;所需微纳工艺简单、实现成本较低。
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