发明公开
- 专利标题: 靶组件
- 专利标题(英): Target assembly
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申请号: CN201580042283.9申请日: 2015-06-18
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公开(公告)号: CN106574362A公开(公告)日: 2017-04-19
- 发明人: 中村真也 , 池田佳广 , 藤井佳词 , 宫口有典
- 申请人: 株式会社爱发科
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: 株式会社爱发科
- 当前专利权人: 株式会社爱发科
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 北京英特普罗知识产权代理有限公司
- 代理商 齐永红
- 优先权: 2014-163095 20140808 JP
- 国际申请: PCT/JP2015/003065 2015.06.18
- 国际公布: WO2016/021101 JA 2016.02.11
- 进入国家日期: 2017-02-06
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34
摘要:
本发明提供一种靶组件,其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电,同时可靠地防止结合靶和背板的粘接材料向外部渗出。背板(22)具有比靶(21)的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)。环状的屏蔽板(4)与延伸部分相对配置,以便在将靶组件(2)安装在溅射装置(SM)上时围住靶。以背板上结合有靶的部分作为接合部分(22b),该接合部分相对于延伸部分凸出设置。使从延伸部分到接合部分的侧面的外表面都粗糙化。从延伸部分到靶的侧面都形成绝缘材料膜(23)。
公开/授权文献
- CN106574362B 靶组件 公开/授权日:2019-06-11
IPC分类: