Invention Publication
- Patent Title: 晶片级光谱仪
- Patent Title (English): Wafer level spectrometer
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Application No.: CN201611139570.4Application Date: 2012-06-12
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Publication No.: CN106595854APublication Date: 2017-04-26
- Inventor: 厄尔·詹森 , 梅·孙 , 凯文·奥布赖恩
- Applicant: 科磊股份有限公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 科磊股份有限公司
- Current Assignee: 科磊股份有限公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- Agent 张世俊
- Priority: 61/498,500 20110617 US 13/491,442 20120607 US
- Main IPC: G01J3/02
- IPC: G01J3/02 ; G01J3/36 ; G01J3/12 ; G01J1/58

Abstract:
本申请涉及晶片级光谱仪。本发明涉及一种用于测量光学辐射的特性的传感器设备,所述传感器设备具有衬底及位于所述衬底内在一个或一个以上空间上分离的位置处的低轮廓光谱选择性检测系统。所述光谱选择性检测系统包含以光学方式耦合到对应光学检测器阵列的大体层状波长选择器阵列。应强调,提供本摘要以符合需要将允许搜索者或其它读者快速断定技术性揭示内容的标的物的摘要的规则。提交本摘要是基于以下理解:其将不用于解释或限制权利要求书的范围或含义。
Public/Granted literature
- CN106595854B 晶片级光谱仪 Public/Granted day:2019-08-13
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