一种铜柱结构封装基板及其加工方法
摘要:
本发明实施例公开了一种铜柱结构封装基板及其加工方法,用于解决现有技术中铜柱结构存在问题,使得铜柱结构封装基板上的铜柱结构具有高均匀性及高强度。本发明实施例方法包括:提供线路板,线路板具有基板、第二铜层及超厚干膜,超厚干膜处于线路板的一个面上;对线路板进行钻孔,形成铜柱通孔,并在铜柱通孔内壁形成第一铜层;通过电镀铜工艺,在铜柱通孔内形成铜柱;去除超厚干膜、第二铜层和暴露的第一铜层,得到铜柱结构封装基板。
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