发明授权
- 专利标题: 一种铜柱结构封装基板及其加工方法
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申请号: CN201510795892.3申请日: 2015-11-18
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公开(公告)号: CN106711096B公开(公告)日: 2019-07-26
- 发明人: 李飒 , 谷新 , 熊佳
- 申请人: 深南电路股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区侨城东路99号
- 专利权人: 深南电路股份有限公司
- 当前专利权人: 深南电路股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区侨城东路99号
- 代理机构: 深圳市深佳知识产权代理事务所
- 代理商 徐翀
- 主分类号: H01L23/14
- IPC分类号: H01L23/14 ; H01L21/48
摘要:
本发明实施例公开了一种铜柱结构封装基板及其加工方法,用于解决现有技术中铜柱结构存在问题,使得铜柱结构封装基板上的铜柱结构具有高均匀性及高强度。本发明实施例方法包括:提供线路板,线路板具有基板、第二铜层及超厚干膜,超厚干膜处于线路板的一个面上;对线路板进行钻孔,形成铜柱通孔,并在铜柱通孔内壁形成第一铜层;通过电镀铜工艺,在铜柱通孔内形成铜柱;去除超厚干膜、第二铜层和暴露的第一铜层,得到铜柱结构封装基板。
公开/授权文献
- CN106711096A 一种铜柱结构封装基板及其加工方法 公开/授权日:2017-05-24