Invention Publication
- Patent Title: 一种在绝缘衬底上直接制备层数可控石墨烯的方法
- Patent Title (English): Method for directly preparing layer-number-controllable graphene on insulating substrates
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Application No.: CN201511019588.6Application Date: 2015-12-29
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Publication No.: CN106927459APublication Date: 2017-07-07
- Inventor: 狄增峰 , 汪子文 , 王刚 , 郑晓虎 , 戴家赟 , 薛忠营 , 张苗 , 王曦
- Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Applicant Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Agency: 上海光华专利事务所
- Agent 罗泳文
- Main IPC: C01B32/20
- IPC: C01B32/20 ; H01L21/265 ; H01L21/324

Abstract:
本发明提供一种在绝缘衬底上直接制备层数可控石墨烯的方法,利用离子注入精确控制碳离子剂量,直接在各种绝缘衬底上制备不同层数的石墨烯。首先在绝缘衬底上沉积金属镍薄膜,接着使用离子注入将不同层数对应的碳离子剂量分别注入到镍薄膜中,然后在镍上沉积相对比较厚的铜薄膜。在高温下使镍铜会发生互溶,大量的铜会将碳不断地往下推,最终从镍中推出,在绝缘衬底和镍铜合金的界面处形成石墨烯。本发明可以直接在不同的绝缘衬底上获得大面积层数可控的高质量连续石墨烯,不需要进一步转移,大大提高了石墨烯的质量,本发明高温合成时间极短,可以极大的提高制备效率,为工业化制备绝缘体上高质量石墨烯以及石墨烯应用提供了有效可行地途径。
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