Invention Publication
- Patent Title: 避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室
- Patent Title (English): Opening and closing device for avoiding overshooting of vacuum cavity door and vacuum cavity
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Application No.: CN201511026740.3Application Date: 2015-12-31
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Publication No.: CN106939746APublication Date: 2017-07-11
- Inventor: 高颖 , 雷仲礼
- Applicant: 中微半导体设备(上海)有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
- Assignee: 中微半导体设备(上海)有限公司
- Current Assignee: 中微半导体设备(上海)股份有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
- Agency: 上海天辰知识产权代理事务所
- Agent 吴世华; 陈慧弘
- Main IPC: E05F15/00
- IPC: E05F15/00 ; E05F15/40

Abstract:
本发明提供了一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室,包括具有线性驱动轴的线性驱动部件和接头部件,接头部件一端固定于腔门边缘,接头部件另一端具有一连接孔;线性驱动部件的一端活动连接于真空腔的外壁上,另一端和接头部件另一端通过连接孔进行活动连接;通过线性驱动部件的旋转来驱动接头部件旋转从而打开或关闭腔门;环绕在线性驱动轴的端部的挡板套筒;位于接头部件的连接孔上的挡板,其具有靠近线性驱动部件的截止端;一栓销穿过连接孔,将挡板与挡板套套筒固定连接,且将挡板与接头部件之间活动连接;位于接头部件上的挡板阻件,其靠近挡板的截止端设置,且当挡板的截止端与挡板阻件接触后,接头部件被挡板卡住而不能继续旋转。
Public/Granted literature
- CN106939746B 避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室 Public/Granted day:2018-08-10
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